日本 NGK 半导体静电吸盘

日本 NGK 半导体静电吸盘

日本 NGK 半导体静电吸盘

设备基础规格

• 适配晶圆尺寸：200mm、300mm、450mm

• 电极形式：单极、双极可选

• 工作温度范围：‑50℃~700℃

• 基材材质：氮化铝 AIN、氧化铝 Al₂O₃

• 可选功能：加热模组、冷却模组、Bulk RF 电极

• 纯度：最高可达 99.9% 以上

• 耐环境：对卤素类腐蚀气体具备耐腐蚀性

  
  

该款 NGK 陶瓷静电吸盘专为半导体晶圆工艺开发，依托陶瓷介电基材与精准的体积电阻率控制，实现稳定的晶圆静电吸附，可适应从低温到高温的宽幅工况。产品具备高强度、高导热、优异耐热冲击性能，经过特殊表面与清洗处理，实现晶圆背面低颗粒污染，满足半导体洁净生产要求。产品支持多种功能集成，内置埋入式发热体可实现晶圆温度 ±1% 高精度控温；搭配高导热陶瓷与冷却基板，获得优秀冷却性能；Bulk 电极方案可同时完成晶圆吸附与 RF 等离子生成，简化设备结构。氮化铝基材有多款材料等级可选，可根据导热、电阻率、强度需求选型，同时具备优秀抗卤素腐蚀能力，适配刻蚀等腐蚀工艺环境。电极支持单极、双极两种方案，覆盖 200/300/450mm 主流晶圆规格，全部可按设备实际工况做定制开发，广泛匹配各类半导体工艺设备，配件稳定性强，可降低晶圆加工过程中的颗粒污染与温度偏差，保障制程良率。

适用场景主要用于半导体制造领域，应用于刻蚀、薄膜沉积等等离子工艺设备，对硅晶圆进行静电吸附固定，服务半导体晶圆厂、半导体设备厂商，可适配研发样机以及量产设备使用。

深圳市秋山贸易有限公司，2017 年成立，深耕日本进口精密仪器供应链 9 年，直连日本众多原厂资源，减少中间流通环节。长期合作 ORIHARA 折原、KETT 凯特、MARKTEC 码科泰克、SIBATA 柴田科学、SUN RHEO 太阳科学、ROBOTMATION、CMT、电色工业、YEC 創朋等众多日系品牌。主营光学检测、物性试验、粉体处理、食品农产检测、理化分析，服务高校科研院所、第三方检测机构、政企单位，可提供设备选型、进口订货、原厂资料对接、售后协调的全流程配套服务。