日本 Science Edge FDTR 热反射显微镜
日本 Science Edge FDTR 热反射显微镜
设备基础规格
泵浦光:445nm,光斑直径约 2μm (@20x,NA=0.45)
探针光:514nm,光斑直径约 1μm (@20x,NA=0.45)
对应换能器:Au
调制频域:10kHz‑50MHz
本体尺寸:W505 × D560 × H480 mm
本体重量:70kg
附加功能:映射测量功能、各向异性测量,高分辨率拉曼光谱功能 (选配),冷却加热阶段 (选配)
核心产品特性InFocus K FDTR 最大特点在于其聚焦至数微米至亚微米级别的激光束光斑,以及能够自由控制照射位置的激光扫描光学系统。设备除配备电动载物台扫描外,还搭载了振镜扫描机构,通过瞳投影透镜与成像透镜的合理组合扫描光学系统,即使改变光束照射位置,光线也能始终垂直照射到测量面上,无需担心光斑直径的畸变。操作人员只需点击软件显微图像上的任意位置,即可瞬间改变探针光的位置。
设备采用圆柱坐标系的三维热扩散模型进行数据分析,可评估热导率的各向异性。在测量具有各向异性热导率的材料时,可将面垂直方向和面内方向的热导率作为拟合参数,从而评估热导率的各向异性。设备还具备计算各拟合参数测量灵敏度的功能,可在测量前充分确认灵敏度情况,有针对性地进行测量。
在光束偏移 FDTR 测量中,通过将探测光照射位置与泵浦光错开进行测量,可以高灵敏度地测量面内热导率。通过载物台扫描的 FDTR 映射测量,可以实现热导率分布的可视化。即使是微米级粒径的散热填料,也能通过将焦点对准中心来进行测量。此外,还可以选配高分辨率拉曼光谱测量功能,获取样品的结晶度、残余应力等信息,实现一台设备进行多角度的材料分析。
适用场景适用于薄膜材料、微小颗粒、散热填料、半导体器件、复合材料等样品的热导率测量与热物性分布表征,服务于高校科研院所、新材料研发实验室、半导体检测机构、电子散热材料企业等,用于材料热物性基础研究、产品热管理性能评估、界面热导率测试及热导率各向异性分析等工作。
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