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日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜

产品名称: 日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜
产品型号:
产品特点: 日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜
超小型原子力显微镜,整机体积小巧可邮寄运输,操作简单支持自动测定。配备两款扫描头,可替代 SEM、高倍率光学显微镜,完成微纳米尺度样品表面形貌检测解析。

日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜 的详细介绍
日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜

日本 SoftWorks 便携式原子力显微镜


设备基础规格
‑扫描头类型:高分解型、广域扫描型
‑最大扫描范围:高分解型 10μm;广域扫描型 110μm
‑最大 Z 扫描范围:高分解型 2.0μm;广域扫描型 22μm
‑Z 方向分解能:高分解型 0.000107nm;广域扫描型 0.0013nm
‑XY 方向分解能:高分解型 0.00059nm;广域扫描型 0.0065nm
‑非线形失真:<0.6%
‑Z 噪声等级 (RMS):高分解型 40pm;广域扫描型 90pm
‑扫描头可瞬时切换,探针无需调整

‑搭载电磁扫描器,无蠕变、无时间老化偏移


该设备属于超小型便携式原子力显微镜,整机尺寸紧凑,可直接邮寄运输,降低设备搬运门槛。配置高分解型与广域扫描型两种扫描头,切换过程简单快捷,探针更换无需繁琐调试,短时间内即可开展检测工作。设备采用电磁扫描器,规避常规 AFM 设备存在的蠕变问题,不存在随时间发生性能偏移的情况,保障长期检测数据稳定。可替代扫描电镜、高倍率三维光学显微镜开展观测,支持彩色成像,能够捕捉以往难以观测的细微样品现象,支持离线全自动测量模式,降低操作人员上手难度,不用复杂培训即可完成样品测试,兼顾实验室研发以及产线样品抽检等多种使用工况。


适用场景
可用于微细线幅测定、掩膜图案检测、研磨抛光样品评价、薄膜段差测定、成膜状态连续非连续判定;同时覆盖高精度金型表面解析、光学部件评估、硬盘磁气磁场观测、DVD 介质检查、量子点检测、晶圆、薄膜样品表面核查,广泛应用于半导体、光学元件、新材料薄膜、精密加工等科研与工业检测领域。


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