日本松定精密Matsusada HEC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HEC 系列高压电源

日本松定精密Matsusada HEC 系列高压电源

设备基础规格

• 输出通道：2 通道独立输出

• 输出电压：0~±1kV 至 0~±10kV 多型号可选

• 整机功率：200W

• 极性反转时间：600ms（无负载）

• 安装方式：标准机架式

• 可选配件：500kHz/13.56MHz 射频滤波器、输出继电器、7 米高压电缆

• 供电输入：AC100‑240V 单相

核心产品特性HEC 系列是日本松定精密面向半导体静电吸盘场景打造的机架式双通道反向高压电源，整机采用紧凑型大功率设计，适配机柜集成安装。一台设备即可兼容单极式、双极式两种静电吸盘，适配库仑力、拉贝克力两类吸盘。除常规通断控制吸附状态外，断电阶段支持极性反转，让晶圆、玻璃基板实现平滑剥离，降低碎片风险，缩短生产周期。设备面板配置双通道独立显示窗口，各通道运行状态直观查看。具备强制接地功能，可按需选配射频滤波器，抵御等离子工艺带来的射频干扰；输出继电器选件可实现电源与负载电气断开保护。高压输出线缆支持 7 米长度选配，适配设备内部布局。电压规格覆盖 1kV‑10kV，多型号可供选型，满足不同静电卡盘供电需求。

适用场景主要用于半导体设备静电吸盘供电，适配晶圆、玻璃基板吸附剥离工艺，广泛应用于刻蚀、薄膜沉积等等离子半导体工艺设备。