日本不二制作所 ATV 静电吸盘压花加工装置

日本不二制作所 ATV 静电吸盘压花加工装置日本不二制作所 ATV 静电吸盘压花加工装置

设备基础规格

• 加工能力：支持 12 英寸静电吸盘 6 片同时加工

• 加工方式：机器人 + 批处理模式

• 控制系统：触摸屏数控系统

• 配套单元：研磨剂定量喷射单元、旋风分级单元、异物去除系统

• 定制属性：加工尺寸、同时加工片数支持定制化设计

核心产品特性设备专为半导体静电吸盘压花针立加工打造，依靠数字化控制系统完成枪头位移、研磨剂喷射量的精细化管控，摒弃传统多台设备分散作业模式，单台设备就可完成多工件同步加工，规避多设备加工带来的产品精度差异问题，保障批次产品品质一致性。设备搭载专属研磨剂定量喷射单元，可稳定控制研磨剂输出，配合高精度旋风分级机构，持续维持研磨介质粒度稳定，保障切削能力长期稳定输出。整机配置异物去除系统，能够过滤清除覆膜碎片、陶瓷切屑等杂质，避免杂质混入加工工位，杜绝工件污染，保障加工稳定性。全部加工参数均可在触摸屏完成设置与保存，可反复调取历史加工配方，稳定复现相同加工效果，降低人工操作带来的误差。多吸附治具同步作业结构，大幅提升单位时间产能，减少工件上下料搬运频次，降低操作人员作业负荷。设备可根据客户实际生产需求，定制工件处理尺寸、同时加工工件数量，适配不同产线的量产需求，兼顾高精度加工与大批量生产，满足半导体行业严苛的工艺标准，保障静电吸盘表面压花纹路均匀可控，提升成品良率。

适用场景主要用于半导体行业静电吸盘的压花针立加工，针对陶瓷材质静电吸盘表面精密纹理成型处理，适配 12 英寸晶圆吸盘量产加工，也可针对不同规格工件做定制改造。广泛应用于半导体零部件制造、陶瓷精密构件加工领域，适用于需要多工件同步批处理、对加工一致性要求高的产线，解决传统喷砂加工精度不稳定、量产一致性差的工艺痛点，满足半导体零部件大批量精密加工生产需求。