实验室晶圆清洗小型臭氧浓度离子分解装置

实验室晶圆清洗小型臭氧浓度离子分解装置

实验室晶圆清洗小型臭氧浓度离子分解装置

1. 分解原理
   采用“离子分解 + 非金属催化剂"两段式结构：
• 前段电晕放电产生低温等离子体，使 O₃ 初步裂解为 O₂ + O*；
• 后段填充 Excimer  MnO₂-沸石复合催化剂，把残余臭氧转化为氧气，无二次污染物。
2. 性能指标（2025 版）
• 入口臭氧浓度：≤ 1 000 ppm（瞬时峰值 1 500 ppm）
• 出口臭氧浓度：＜ 0.1 ppm（符合 JIS B 9929 室内臭氧≤0.1 mg/m³ 要求）
• 处理风量：5–25 L/min（内置 DC 无刷泵，可随设备联动启停）
• 压损：≈ 120 Pa @ 10 L/min，对背压敏感的小型 UV 腔体同样适用
• 催化剂寿命：≥ 8 000 h（每天 8 h 约可用 3 年），到期后模块整体更换，重量仅 80 g
3. 外形与接口
• 主机 120×90×45 mm，0.35 kg，IP20 桌面放置
• 进气/出气为 φ6 mm 快拧接头，标配 1 m FEP 配管
• 电源：DC 12 V/1 A（附带 100–240 V AC 适配器），功耗 ≤ 8 W
• 外部控制：光电隔离 RUN/STOP 信号，可与 UV 灯电源联动；提供臭氧泄漏报警干接点
4. 典型应用
• 准分子（Excimer）UV 曝光机、O₃ 表面清洗机、小型臭氧水制取装置的尾气处理
• 实验室晶圆清洗、FPD 封装预处理后，直接排入室内空调环境

1. 分解原理
   采用“离子分解 + 非金属催化剂"两段式结构：
• 前段电晕放电产生低温等离子体，使 O₃ 初步裂解为 O₂ + O*；
• 后段填充 Excimer  MnO₂-沸石复合催化剂，把残余臭氧转化为氧气，无二次污染物。
2. 性能指标（2025 版）
• 入口臭氧浓度：≤ 1 000 ppm（瞬时峰值 1 500 ppm）
• 出口臭氧浓度：＜ 0.1 ppm（符合 JIS B 9929 室内臭氧≤0.1 mg/m³ 要求）
• 处理风量：5–25 L/min（内置 DC 无刷泵，可随设备联动启停）
• 压损：≈ 120 Pa @ 10 L/min，对背压敏感的小型 UV 腔体同样适用
• 催化剂寿命：≥ 8 000 h（每天 8 h 约可用 3 年），到期后模块整体更换，重量仅 80 g
3. 外形与接口
• 主机 120×90×45 mm，0.35 kg，IP20 桌面放置
• 进气/出气为 φ6 mm 快拧接头，标配 1 m FEP 配管
• 电源：DC 12 V/1 A（附带 100–240 V AC 适配器），功耗 ≤ 8 W
• 外部控制：光电隔离 RUN/STOP 信号，可与 UV 灯电源联动；提供臭氧泄漏报警干接点
4. 典型应用
• 准分子（Excimer）UV 曝光机、O₃ 表面清洗机、小型臭氧水制取装置的尾气处理
• 实验室晶圆清洗、FPD 封装预处理后，直接排入室内空调环境