实验室用紧凑型超声波漂洗滤筒式纯水器
实验室用紧凑型超声波漂洗滤筒式纯水器
| 型号 | 给水压力 | 产水量 | 滤筒数量 | 终端过滤 | 尺寸/重量 | 典型用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| G-10 | 0.1 – 0.4 MPa | 10 L/h | 1×混床 | 0.2 µm PES | 260 × 185 × 380 mm / 5 kg | 教学实验室器具漂洗 |
| G-20 | 0.1 – 0.4 MPa | 20 L/h | 2×并联混床 | 0.2 µm PES | 300 × 200 × 400 mm / 7 kg | 光学透镜车间 |
| G-50 | 0.15 – 0.4 MPa | 50 L/h | 2×大流量混床 | 0.2 µm PES | 380 × 230 × 450 mm / 10 kg | 小批量晶圆盒/掩模板 |
| 指标 | 数值 |
|---|---|
| 电阻率 | >15 MΩ·cm @ 25 ℃(新筒) |
| TOC | < 50 ppb(标准型);< 10 ppb(-L型带UV) |
| Particle | ≤ 1 pc/mL (≥0.2 µm) |
| 细菌 | < 1 CFU/100 mL(终端 0.2 µm) |
| SiO₂ | < 5 ppb |
| 重金属 | < 0.1 ppb(Pb、Cu、Zn) |
| 型号 | 给水压力 | 产水量 | 滤筒数量 | 终端过滤 | 尺寸/重量 | 典型用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| G-10 | 0.1 – 0.4 MPa | 10 L/h | 1×混床 | 0.2 µm PES | 260 × 185 × 380 mm / 5 kg | 教学实验室器具漂洗 |
| G-20 | 0.1 – 0.4 MPa | 20 L/h | 2×并联混床 | 0.2 µm PES | 300 × 200 × 400 mm / 7 kg | 光学透镜车间 |
| G-50 | 0.15 – 0.4 MPa | 50 L/h | 2×大流量混床 | 0.2 µm PES | 380 × 230 × 450 mm / 10 kg | 小批量晶圆盒/掩模板 |
| 指标 | 数值 |
|---|---|
| 电阻率 | >15 MΩ·cm @ 25 ℃(新筒) |
| TOC | < 50 ppb(标准型);< 10 ppb(-L型带UV) |
| Particle | ≤ 1 pc/mL (≥0.2 µm) |
| 细菌 | < 1 CFU/100 mL(终端 0.2 µm) |
| SiO₂ | < 5 ppb |
| 重金属 | < 0.1 ppb(Pb、Cu、Zn) |
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