半导体液晶制造装置带真空排气加热器

半导体液晶制造装置带真空排气加热器

半导体液晶制造装置带真空排气加热器

半导体・液晶制造装置的排气管道因大量粉末的存在而时刻面临污染和堵塞的风险。
HOTN2加热器利用现有的稀释用N2气体，以低成本防止和消除这些问题。
HOT N2加热器可用于缩短低温泵的再生时间，以及清除负载锁定室中的污垢。半导体・液晶制造装置的排气管道因大量粉末的存在而时刻面临污染和堵塞的风险。
HOTN2加热器利用现有的稀释用N2气体，以低成本防止和消除这些问题。
HOT N2加热器可用于缩短低温泵的再生时间，以及清除负载锁定室中的污垢。

从外侧对排气配管进行保温以抑制粉末附着的技术是以往的，但由于这仅对配管内壁进行保温，形状变得复杂时，保温不充分的部位
粉末附着了・我会成长。
另一方面，HOTN2加热器使配管内的整体升温，因此无论配管的形状如何，都能抑制粉末的析出，防止配管内的堵塞。从外侧对排气配管进行保温以抑制粉末附着的技术是以往的，但由于这仅对配管内壁进行保温，形状变得复杂时，保温不充分的部位
粉末附着了・我会成长。
另一方面，HOTN2加热器使配管内的整体升温，因此无论配管的形状如何，都能抑制粉末的析出，防止配管内的堵塞。从外侧对排气配管进行保温以抑制粉末附着的技术是以往的，但由于这仅对配管内壁进行保温，形状变得复杂时，保温不充分的部位
粉末附着了・我会成长。
另一方面，HOTN2加热器使配管内的整体升温，因此无论配管的形状如何，都能抑制粉末的析出，防止配管内的堵塞。