日本Sanplatec EDH-05S半导体槽体加热元件
日本Sanplatec EDH-05S半导体槽体加热元件
设备基础规格
电源:单相 100V
功率:0.5Kw
电源线长:约 2m,不含插头
外形尺寸:W140×L145×H16mm
本体重量:约 320g
最高使用温度:90℃
材质:加热芯 SUS304,接液部分 PFA,框架 PTFE
低水位:本体上方 30mm 以上
核心产品特性
这款槽内置氟树脂加热器专为腐蚀性药液环境设计,所有和液体接触区域选用 PFA、PTFE 氟树脂材料,具备优异耐化学腐蚀能力,可适配强酸、强碱、高纯超纯水等多种介质,加热过程不会析出杂质,保障药液洁净度。密封位置采用一体焊接成型工艺,舍弃传统 O 型圈、垫片密封方案,规避密封件老化溶胀、渗漏风险,长期使用稳定性更强。设备整体轻薄扁平,方便放置在各类槽体内部,适配狭小槽体空间布局。配套线缆外层做氟树脂包覆,耐药液侵蚀,使用寿命更长。产品有多种规格可选,大功率型号支持堆叠、横向组合安装,可根据加热需求灵活搭配,EDH-05S 不可和 EDH-10S 组合使用。使用时必须浸没在液面之下,禁止干烧,安装环境需要保证液体对流顺畅,避免局部过热损坏设备,适合对洁净度、耐腐蚀性要求严苛的加热工况。
适用场景
多用于半导体产线高纯度药液储罐、蚀刻槽、清洗槽的液体加温,同时适配各类电镀处理槽、化学实验室反应槽、湿法工艺实验装置,广泛服务于半导体制造、精密电镀、新材料化学研发、第三方理化检测等领域,满足高纯腐蚀药液恒温加热需求。
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