日本大兴制作所 CL 系列内嵌式在线加热器

日本大兴制作所 CL 系列内嵌式在线加热器日本大兴制作所 CL 系列内嵌式在线加热器设备基础规格

• 加热方式：卤素灯辐射加热

• 接液材质：高纯度石英玻璃

• 筐体材质：聚四氟乙烯 PTFE

• 最高使用温度：180℃

• 许容内压：0.4MPa

• 标配配管口径：25mm

• 安全机构：过温传感器、过热检测传感器、漏液检测导线

• 功率规格：6KW/9KW/12KW 可选

• 供电：AC200V核心产品特性大兴制作所 CL 系列内嵌式在线加热器依托卤素红外辐射加热原理，红外线转换效率高于 85%，升降温响应迅速，可稳定实现流体在线升温。设备接液部件选用高纯度石英玻璃，金属离子析出量极低，同时具备优异耐热性与耐化学药液腐蚀性能；光辐射加热的模式，即便加热器发生损坏，也不会产生金属杂质污染流体，满足半导体严苛的洁净管控需求。整机外壳采用 PTFE 材质，耐酸碱，适配各类腐蚀性化学品工况。设备集成多重安全监测组件，搭载过温、过热以及漏液检测导线，实时监测设备运行状态，提前规避泄漏、超温等风险，保障产线连续稳定运行。产品采用单端式加热器结构，整体结构紧凑，节省安装空间，拆装便捷，后期维护简单。该加热器可适配不同流量的纯水与化学药液管路，升温曲线稳定可控，接头支持定制，可灵活对接各类湿法工艺管路，长时间运行性能稳定，减少因加热单元污染造成的产品良率损耗，是半导体湿制程中流体加温的优选洁净加热单元。适用场景主要用于半导体制造湿法工艺，可对各类光刻药液、蚀刻药液、清洗纯水进行在线连续加热，适用于晶圆清洗、刻蚀、剥离等工序，广泛应用于半导体晶圆工厂、精密电子洁净产线，同样可用于高纯度化学流体处理、精密材料实验室高纯药液加温等对洁净度有严格要求的流体加热场景。