非接触精密加工零件表面性状测定装置

非接触精密加工零件表面性状测定装置

非接触精密加工零件表面性状测定装置

利用可实现指数测定50倍速度的扫描AF功能和高精度自动XY台，以亚μm级别的测定精度高速测定数十mm级的广范围。适用于剖面曲线无法检测的精密加工零件的翘曲测量、成型品的形状不良、摩擦学磨损量和伤痕的定量评估。利用可实现指数测定50倍速度的扫描AF功能和高精度自动XY台，以亚μm级别的测定精度高速测定数十mm级的广范围。适用于剖面曲线无法检测的精密加工零件的翘曲测量、成型品的形状不良、摩擦学磨损量和伤痕的定量评估。利用可实现指数测定50倍速度的扫描AF功能和高精度自动XY台，以亚μm级别的测定精度高速测定数十mm级的广范围。适用于剖面曲线无法检测的精密加工零件的翘曲测量、成型品的形状不良、摩擦学磨损量和伤痕的定量评估。利用可实现指数测定50倍速度的扫描AF功能和高精度自动XY台，以亚μm级别的测定精度高速测定数十mm级的广范围。适用于剖面曲线无法检测的精密加工零件的翘曲测量、成型品的形状不良、摩擦学磨损量和伤痕的定量评估。利用可实现指数测定50倍速度的扫描AF功能和高精度自动XY台，以亚μm级别的测定精度高速测定数十mm级的广范围。适用于剖面曲线无法检测的精密加工零件的翘曲测量、成型品的形状不良、摩擦学磨损量和伤痕的定量评估。

• 大范围・高精度測定
  （测量范围：XYZ=60x60x10mm，分辨率：XY=0.1μm，Z=0.01μm）

• 通过扫描AF进行高速测量

• 在粗糙度测量方面与国际标准具有高度相关性

• 符合国际标准（ISO）的截面标配面区域的粗糙度/形状评估软件MitakaMap

• 由于是小型系统，因此可以在桌面上进行操作。
  （安装尺寸：400mm×）直径：400毫米）

• 装置重量：31kg