是日本若井田科学推出的超高真空测量设备,专为半导体制造、真空镀膜等高真空 / 超高真空工艺场景设计,为自动化真空系统提供稳定可靠的压力监测与控制支持。
采用减少软 X 线效应的 B-A 型 UV-81 测量球,并对本体进行精密校正,有效降低测量误差,确保在超高真空环境下也能读取可靠数值。设备可实现 9.9×10⁻¹~1.0×10⁻⁷ Pa 的宽量程测量,支持 5 段自动量程切换,无需手动调节即可覆盖不同真空度的测量需求,大幅提升操作便利性。
设备支持丰富的外部控制功能,可通过数字开关任意设置 2 点压力外部接点,同时提供 BCD 输出、各量程 5V 模拟输出、灯丝远程 ON/OFF 控制、灯丝断线信号等多种控制信号,可直接接入自动化装置,实现真空系统的远程监控与工艺联动控制,适配自动化生产线上的高真空工艺应用。设备自带数字显示界面,可清晰显示真空压力值与工作状态,同时配备发射检查、零点调整等功能旋钮,支持现场校准与参数设置,操作界面布局清晰,新手也能快速上手。
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