是日本若井田科学推出的智能型宽量程真空测量设备,专为半导体制造、真空镀膜、自动化真空生产线等高真空工艺场景设计,为宽范围真空段的智能、安全、稳定监测提供专业解决方案。
设备采用皮拉尼真空计与电离真空计联动的设计,实现 4.9×10⁻¹~1.0×10⁻⁷ Pa 的全量程自动切换测量,无需手动调节即可覆盖中真空到超高真空的宽范围,适配不同真空工艺的测量需求。其核心优势在于内置的电离真空计保护回路,即使在大气压下开启设备,也不会烧断电离真空计测量球的灯丝,大幅提升设备的安全性与使用寿命,降低维护成本。
设备配备数字显示界面,可清晰显示真空压力值,支持以 Pa 为单位的读数显示,直观易懂。同时搭载丰富的控制功能,可通过数字开关设定任意 2 点外部接点,同时提供灯丝远程 ON/OFF 控制、灯丝断线信号、压力值 BCD 输出、各量程 5V 模拟输出等多种信号,可直接接入自动化装置,实现真空系统的远程监控、过程联动与故障保护,适配自动化真空生产线的工艺控制需求。设备还提供无继电器接点的标准型号 WVG-8800DM、WVG-800DS,可根据不同应用场景灵活选择。
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