是日本若井田科学推出的宽范围真空测量设备,专为真空镀膜、半导体工艺、实验室真空实验装置、质谱仪、表面处理设备等场景设计,为真空度从宽范围真空段的精准、稳定、全量程监测提供专业解决方案。
设备采用独特的复合式测量原理,集成皮拉尼真空计(PIRANI)和电离真空计(ION)两大核心单元。其中 WVG-1T 型号覆盖 20~2×10⁻⁵ Pa 的测量范围;WVG-3T 型号扩展至 200~2×10⁻⁵ Pa,两者均支持分段切换,通过面板旋钮即可完成量程切换,操作便捷,无需复杂调试即可适配不同真空工况。
作为宽量程真空计,WVG-1T/WVG-3T 系列提供丰富的外部接口,包括各量程满刻度 10mV 的记录输出端子(REC OUT),可直接连接外部记录仪、数据采集系统或自动化控制柜,实现真空压力数据的实时采集、远程监控及生产线联动控制。设备采用 SUS 制造的专用测量球,WVG-1T 搭配 VG-51 球,WVG-3T 搭配特殊皮拉尼球,确保在高真空环境下的测量精度与使用寿命。
整机采用坚固工业级金属外壳,尺寸为 443×120×330mm,重量 10kg,结构稳固耐用,散热性能优异。设备采用 AC100V 供电,功耗 53W,长期运行稳定可靠,维护成本低,可在实验室、工厂生产线、半导体制造车间等多种环境中稳定工作。
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