日本 ANELVA 微型电离真空计探头 MG‑2WF

日本 ANELVA 微型电离真空计探头 MG‑2WF日本 ANELVA 微型电离真空计探头 MG‑2WF

设备基础规格

• 本体材质：SUS304 不锈钢

• 测定上限压力：1.3×10⁻¹Pa

• 测定下限压力：10⁻⁵Pa 量级

• 灵敏度：0.045Pa⁻¹

• 灯丝配置：内置 2 根钨材质灯丝

• 测量球容积：约 12cc

• 灯丝功耗：2.5W

• 栅极脱气功耗：1.0W

• 脱气方式：栅极通电加热

• 安装形式：φ15 规格适配器，支持各类法兰焊接

该款微型 B‑A 电离真空计探头为全金属结构设计，解决传统玻璃规管容易破碎的缺陷，设备整体体积大幅缩小，仅为传统规管约二十分之一，能够安装在空间受限的真空腔体内部，不会占用过多设备空间。产品配备双灯丝内置结构，灯丝采用钨材质，单根灯丝损耗后可切换另一根继续工作，有效延长探头整体使用寿命，降低现场更换频次。探头适配 M‑431HG 真空计控制器配套使用，可完成从高真空到工艺压力区间的压力采集，栅极通电脱气模式能够清除规管内部吸附气体，保障长期测量数据稳定准确。支持多种安装方式，可搭配 φ15 规格适配器，也可直接与各类真空法兰进行焊接，适配设备改造与新机装配场景。产品测量灵敏度稳定，面对溅射等工艺环境下的气体氛围，依旧可以输出可靠检测数值，不锈钢本体抗机械冲击能力强，运输、拆装过程不易损坏，减少备件损耗成本，适合工业设备长期连续运行工况，同系列还有 MG‑2、MG‑2M、MG‑2F 等多款不同接口版本可供选型，满足 NW16、NW25、ICF34、ICF70 等各类真空法兰需求。

适用场景多用于自动化真空装置、溅射镀膜设备内部真空压力采集，适配多腔体真空系统，也可用于半导体设备、材料处理设备的真空度监测，适合狭小安装空间的真空腔体，广泛应用科研实验、工业生产各类高真空工况。