HINDS Exicor 光学双折射检测设备

HINDS Exicor 光学双折射检测设备

HINDS Exicor 光学双折射检测设备

是美国亨德斯仪器推出的光学检测设备，专为半导体光刻、光学材料制造、材料应力分析等领域设计，为全尺寸、全波段光学元件的双折射检测提供高精度、高稳定性的专业解决方案。

全系列产品覆盖多场景检测需求：Exicor 50/1S 为紧凑型台式系统，适配实验室小型样品检测；Exicor 400 为大台面系统，支持最大 400mm×400mm 大尺寸光学元件检测；Exicor DUV/193 DUV 为深紫外专用系统，聚焦 157nm、193nm、248nm 光刻波段，适配浸没式 193nm 光刻等工艺，可精准评估氟化钙（CaF₂）透镜、光刻掩模等光学元件的本征双折射。

所有系统均采用 PEMLabs™弹性调制器与 Signaloc™锁相放大器核心技术，延迟分辨率达 0.01nm，重复性 ±0.08nm，角分辨率 0.01°，重复性 ±0.5°，实现行业的测量精度。系统支持双轴晶格的 2D/3D 图形可视化，内置高级数据分析功能，直观呈现光学元件的双折射与应力分布，同时支持全自动无人值守扫描，可连续运行多个班次，大幅提升检测效率。