美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学

Name: 美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学Exicor® AT
Brand: 其他品牌
Price: 10000 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学

产品型号: Exicor® AT

产品特点: 美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学
是针对半导体晶圆、光掩模等精密光学元件设计的台式检测设备，可同时测量双折射大小与角度，搭载高速扫描技术，实现高空间分辨率检测，适配半导体制造的质量管控需求。

美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学 的详细介绍

美国 HINDS Exicor AT 双折射测量系统光学

是专为半导体、精密光学行业打造的台式检测设备，核心用于半导体晶圆检查与光掩模质量评估，可完成双折射的高精度检测与分析。

系统搭载标准高速扫描包 Scan in Motion™（SIM），实现高空间分辨率扫描，网格间距可小于 1 毫米，同时具备优异的低级别双折射测量灵敏度，可同时测量双折射大小与角度，保障检测精度与重复性，支持高速测量与自动映射，大幅提升检测效率。

设备采用无移动光学部件设计，测量过程中无需反复调整阶段、材料等变量，有效提升检测准确性；配套简单易用的软件，可直观指导操作，优化测试、数据收集与信息分析流程。

系列覆盖多型号适配不同场景：120AT/150AT/250AT 为台式设计，配备自动 XY 工作台，灵活的舞台设计可添加自定义零件支架或工艺辅助工具；300AT/500AT 搭载重型自动化 XY 工作台，采用三面便捷上台加载设计，适配大尺寸样品检测，同样支持定制化配件扩展。所有型号均内置高级数据分析功能，支持双轴晶格的 2D 和 3D 图形可视化，直观呈现检测结果。

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