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美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统

产品名称: 美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统
产品型号: Exicor® OIA
产品特点: 美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统
是用于正入射、斜入射场景下,评估透镜、平行面及曲面光学元件的双折射检测设备,基于成熟的照片弹性调制器技术,为光学元件分析与开发提供专业支持。

美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统 的详细介绍

美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统

美国 HINDS Exicor OIA 双折射测量光学系统

是针对光学元件检测需求推出的专业设备,可在正入射和斜入射角度下,完成透镜、平行面光学元件、曲面光学元件的双折射测量,适配下一代光刻透镜、透镜坯料等高价值光学元件的分析与开发工作。


系统核心基于 HINDS Instruments 的照片弹性调制器(PEM)双折射测量技术,利用偏振电磁波(PEM)调制光束的偏振状态,搭配优良的检测和解调电子设备,精准测量光学元件对光束偏振状态的改变,以此获取光学延迟数据,进而评估双折射、快轴方向,以及理论残余应力。


设备支持自动扫描平行平板、球面透镜类型,非球面元件可通过手动宏程序完成扫描,可生成 2D 阻尼和快轴方向图、扫描统计数据,直观呈现检测结果。系统配备舞台前进装载位置,可从上方自由访问样品台,方便样品取放;同时搭载紫外线和激光光封闭装置、安全联锁装置、紧急关闭按钮、系统状态指示灯塔,保障操作安全;配套用户工作站、计算机和显示器,满足实验室与工业场景的使用需求。


系统覆盖可见光与深紫外多波段检测,可见光延迟测量范围 0 到 300 + 纳米,深紫外延迟测量范围 0 到 90 + 纳米,延迟分辨率可达 0.001nm,角分辨率 0.01°,可满足高精度光学元件的检测要求,广泛应用于半导体光刻、透镜制造、光学元件研发等领域。


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