ULVAC 高性能直流电源等离子溅射用

Name: ULVAC 高性能直流电源 等离子溅射用DC 系列
Brand: 其他品牌
Price: 2222 CNY
Availability: InStock

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产品名称: ULVAC 高性能直流电源等离子溅射用

产品型号: DC 系列

产品特点: ULVAC 高性能直流电源等离子溅射用
日本 ULVAC DC 系列直流电源，兼具可靠性与高性能弧处理功能，专为等离子工艺设计，支持高电压输出与高速 ARC 处理，强制风冷免冷却水，广泛应用于溅射、离子清洗等真空工艺。

ULVAC 高性能直流电源等离子溅射用 的详细介绍

ULVAC 高性能直流电源等离子溅射用

ULVAC 爱发科作为全球真空与等离子工艺设备领域的品牌，旗下 DC 系列直流电源，是专为等离子溅射、离子刻蚀、等离子清洗等工艺设计的高性能电源系统，兼具优异的弧处理能力、稳定的输出控制与便捷的使用特性，为半导体、光学镀膜、材料表面处理等行业提供可靠的电源解决方案。

设备搭载高速 ARC 处理电路与可靠的 ARC 抑制功能，可快速响应并处理工艺过程中的弧光放电，减少工艺中断，提升成膜质量与生产稳定性，尤其适配溅射工艺中靶材起弧、打火等问题，保障镀膜过程的连续性。针对等离子工艺的输出控制需求，DC 系列电源支持高精度功率 / 电压 / 电流控制，控制精度可达设定值的 ±1% 以下，功率调节范围宽（如 DC-2 型号支持 1-100% 额定功率调节），可满足不同工艺参数的精细化调整，适配多种靶材与工艺条件。

在设计上，DC 系列采用轻量化、省空间的机架式结构，便于集成到真空设备机柜中，节省现场安装空间；采用强制风冷散热方式，无需外接冷却水系统，简化现场配套，降低维护成本，提升设备部署的灵活性。系列包含多种规格型号，如 DCS0052B（500W）、DC-2（2kW）、DC-4（4kW），以及更高功率的 10kW、20kW 型号，10/20kW 版本提供 800V、1000V 两种输出电压规格，且支持最多 12 台并联运行，可扩展至 240kW 总功率，适配大规模工业生产线的工艺需求。

设备具备外部控制接口，支持模拟 / 数字信号控制，DC-2 及以上型号还配备 RS232C 或 RS485 串行通讯接口，可实现与上位机的远程通讯与自动化控制，适配智能产线的集成需求。同时，设备符合 CE、SEMI F47、RoHS 等行业标准（DCS 及 400V 规格除外），安全可靠，可满足半导体等行业的严苛规范要求。凭借稳定的性能、便捷的使用与灵活的扩展能力，ULVAC DC 系列直流电源成为等离子工艺设备的优选配套电源，为各类真空加工工艺提供持续、稳定的电力支持。

核心参数概要

表格

参数项	DCS0052B	DC-2	DC-4
额定功率	500W	2kW	4kW
输入电压	单相 AC100V/200V	三相 AC200V/220V	三相 AC200V/220V
输入容量	≤1kVA	≤3.5kVA	≤6.2kVA
额定电压	800V	800V	800V
额定电流	1.25A	5A	10A
点火电压	约 1100V	1200V	1200V
控制精度	≤额定功率的 ±1%	≤设定值的 ±1%	≤设定值的 ±1%
控制范围	10-100% 额定功率	1-100% 额定功率	1-100% 额定功率
外部控制	模拟 / 数字	模拟 / 数字、RS232C/RS485	模拟 / 数字、RS232C/RS485
冷却方式	强制风冷	强制风冷	强制风冷

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