ULVAC 干式螺杆真空泵耐腐蚀耐粉尘

Name: ULVAC 干式螺杆真空泵 耐腐蚀耐粉尘MS 系列
Brand: 其他品牌
Price: 1111 CNY
Availability: InStock

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产品名称: ULVAC 干式螺杆真空泵耐腐蚀耐粉尘

产品型号: MS 系列

产品特点: ULVAC 干式螺杆真空泵耐腐蚀耐粉尘
日本 ULVAC 爱发科 MS 系列干式螺杆真空泵，在传统 LS 系列基础上升级耐腐蚀性与粉末排出性能，专为腐蚀性气体、含粉尘排气工艺设计，全压力范围可连续运行，广泛应用于半导体、锂电、热处理等行业。

ULVAC 干式螺杆真空泵耐腐蚀耐粉尘 的详细介绍

ULVAC 干式螺杆真空泵耐腐蚀耐粉尘

ULVAC 爱发科作为全球真空技术领域的企业，旗下 MS 系列干式螺杆真空泵，是专为严苛工业工艺优化的耐腐蚀性、高排粉型干式泵，继承并升级了传统 LS 系列的成熟技术，可适配含腐蚀性气体、粉尘颗粒的真空排气场景，为半导体制造、锂电生产、真空热处理等行业提供可靠的真空解决方案。

在耐腐蚀性方面，MS 系列对转子轴、气缸等核心部件进行了特殊表面处理，大幅提升了对酸性、碱性等腐蚀性气体的耐受能力，减少部件腐蚀磨损，延长设备使用寿命，适配蚀刻设备、等离子清洗设备等半导体工艺中含腐蚀性气体的排气需求。针对锂电行业电极干燥、脱泡等工序中产生的粉尘颗粒，设备采用 ULVAC 的螺杆式转子轴设计，实现了优异的排粉性能，有效防止粉尘堆积堵塞，降低设备故障风险，减少维护频次，保障生产线连续稳定运行。

设备支持从大气压到极限压力的全压力范围连续运行，无需分区启停或频繁切换工况，可适应工艺过程中压力波动的场景，提升生产效率。系列包含 MS120A、MS600A、MS1200A 三个型号，最大排气速度分别达 115m³/h、560m³/h、980m³/h，可根据工艺规模灵活选择；极限压力低至≤0.1Pa，满足不同工艺的真空度要求，如真空热处理炉、渗碳炉的真空排气系统，以及医疗、食品行业的冷冻干燥、真空干燥装置等场景。

设备采用三相电源供电，适配 AC200-240V 或 AC380-480V 电压，可根据现场供电条件选择；运行噪音低至 61-64 分贝，对生产环境干扰小；配备 KF50/ISO-F-80/ISO-F-100 等标准进气口法兰，便于与不同真空腔体对接；同时支持吹扫气体量调节（0~50 标准升 / 分钟），可根据工艺需求调整吹扫参数，进一步优化排粉与防腐蚀效果。MS1200A 型号还提供配备额外控制主板及传感器的版本，可实现更精细化的运行监控与数据采集，适配自动化产线的集成需求。

凭借扎实的结构设计、优异的耐腐与排粉性能，ULVAC MS 系列干式螺杆真空泵成为腐蚀性、含粉尘真空工艺的优选设备，为半导体、锂电、热处理、食品医疗等行业提供稳定可靠的真空排气保障。

核心参数概要

表格

参数项	MS120A	MS600A	MS1200A
最大排气速度	115m³/h	560m³/h	980m³/h
到达压力	≤0.6Pa	≤0.1Pa	≤0.1Pa
电源电压	三相 50/60Hz AC200-240V / AC380-480V±10%	同左	同左
功耗	2.4kW	3.1kW	3.1kW
冷却水量	>4.0 升 / 分钟	>4.0 升 / 分钟	>4.0 升 / 分钟
吹扫气体量	0~50 标准升 / 分钟	0~50 标准升 / 分钟	0~50 标准升 / 分钟
最大水蒸气处理量	1.5kg/h	-	-
噪音值	61dB(A)	62dB(A)	64dB(A)
进气口	KF50 (水平)/VG50 (垂直)	ISO-F-80	ISO-F-100
排气口	KF40	KF40	KF40
设备质量	139kg	241kg	264kg
适用场景	半导体蚀刻、锂电干燥、真空热处理、食品医疗冻干等	同左	同左

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