ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源

Name: ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源SG 系列
Brand: 其他品牌
Price: 3333 CNY
Availability: InStock

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产品名称: ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源

产品型号: SG 系列

产品特点: ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源
日本 ULVAC SG 系列 LF 电源，专为双阴极溅射、等离子体 CVD 等工艺设计，支持 20kHz-100kHz 宽频连续输出，兼具可靠性与稳定性，适配各类等离子负载，为半导体镀膜等工艺提供稳定电力支持。

ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源 的详细介绍

ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源

ULVAC 爱发科作为全球真空与等离子工艺设备领域的品牌，旗下 SG 系列 LF 电源，是专为双阴极溅射、等离子体 CVD 等等离子体发生应用设计的高性能电源系统，融入多年电源应用技术积累，兼具可靠性与稳定性，适配各类等离子负载，为半导体镀膜、材料表面处理等行业提供可靠的电力解决方案。

设备针对等离子体负载特性优化设计，可在 20kHz 至 100kHz 的频率范围内连续输出额定功率，频率设置灵活，可根据工艺需求调整，适配不同等离子工艺的激发条件；无需更改抽头，即可在规格范围内的输出电压范围内实现稳定输出，操作便捷，减少工艺调试时间。同时支持脉冲输出控制，可满足特殊工艺的脉冲溅射需求，拓展工艺应用场景。

在控制与通讯方面，SG 系列电源标准配备外部模拟控制、控制器等控制功能，通过选配还可支持 RS232C、RS485、EtherCAT 等多种控制方式，可实现与上位机的远程通讯与自动化控制，适配智能产线的集成需求。设备采用水冷散热方式，散热效率高，可保障长时间连续运行的稳定性，适合工业生产线的高负荷工况。以 SG-10-4 型号为例，其额定功率 10kW，输入电压三相 AC380-440V，输出电压 1000Vrms，控制精度可达 ±100W，控制范围覆盖额定功率的 10-100%，满足精细化工艺参数调整需求。

凭借宽频可调、稳定输出、灵活控制的特性，ULVAC SG 系列 LF 电源成为双阴极溅射、等离子体 CVD 等工艺的优选配套电源，为各类等离子加工工艺提供持续、稳定的电力支持，助力提升工艺质量与生产效率。

核心参数概要（以 SG-10-4 为例）

表格

参数项	SG-10-4
输入电压	三相 AC380-440V
输入容量	≤13.2kVA
额定功率	10kW
额定电流	32A
额定电压	1000Vrms
工作频率	20-100kHz
控制精度	±100W
控制范围	额定功率的 10-100%（电压≥30V、电流≥1.5A）
外部控制	模拟 / 数字、RS232C/RS485（选配）、EtherCAT（选配）
冷却方式	水冷，需水量≥7L/min
外形尺寸（不含突出物）	483×500×177mm
设备质量	40kg
适用场景	双阴极溅射、等离子体 CVD、半导体镀膜、材料表面处理等

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ULVAC 双阴极兼容 LF 等离子电源

核心参数概要（以 SG-10-4 为例）

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