ULVAC 等离子体发生电源溅射工艺专用

Name: ULVAC 等离子体发生电源 溅射工艺专用脉冲直流
Brand: 其他品牌
Price: 5555 CNY
Availability: InStock

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产品名称: ULVAC 等离子体发生电源溅射工艺专用

产品型号: 脉冲直流

产品特点: ULVAC 等离子体发生电源溅射工艺专用
日本 ULVAC 等离子体发生电源系列，专为 PVD 溅射、CVD、刻蚀等成膜工艺设计，覆盖直流、脉冲、低频等多种类型，适配半导体、显示器、新能源等行业，为高精度薄膜制备提供稳定电力支持。

ULVAC 等离子体发生电源溅射工艺专用 的详细介绍

ULVAC 等离子体发生电源溅射工艺专用

ULVAC 爱发科作为全球真空与等离子体工艺设备领域的品牌，旗下等离子体发生电源系列，是专为 PVD 溅射、CVD、刻蚀、灰化等成膜工艺设计的高性能电源系统，产品阵容覆盖直流、直流脉冲、低频等多种类型，可满足不同工艺的电力需求，为半导体与电子器件、显示器、可再生能源、存储器、汽车等行业的薄膜制备提供可靠的电力支持。

在成膜工艺中，电源的选择直接影响生产效率与薄膜质量，ULVAC 针对不同工艺特性优化电源设计：直流电源（Model:DC/Model:Digital DC）兼具可靠性与弧处理功能，适配常规溅射工艺；直流脉冲电源（Model:DC PULSE）通过脉冲输出控制，改善溅射过程中的靶材起弧问题，提升成膜均匀性；低频电源（Model:SG）专为双阴极溅射、等离子体 CVD 设计，支持 20kHz-100kHz 宽频连续输出，适配各类等离子负载。此外，系列还包含外置单元（Model:A2K/Model:MFU），可与主电源配合使用，拓展工艺应用场景。

不同工艺对电源的要求存在差异，ULVAC 电源系列支持根据工艺需求灵活选型，从研发阶段的小批量实验到工业生产线的大规模量产，均有适配型号。设备采用模块化设计，支持多种控制方式，部分型号可选配 RS232C、RS485、EtherCAT 等通讯接口，可实现与上位机的远程通讯与自动化控制，适配智能产线的集成需求。凭借稳定的输出性能、灵活的工艺适配能力，ULVAC 等离子体发生电源成为各类成膜工艺的优选配套电源，助力提升薄膜制备的质量与生产效率。

核心产品阵容

表格

产品类型	型号	适用工艺
直流电源	Model:DC/Model:Digital DC	常规溅射、等离子清洗
直流脉冲电源	Model:DC PULSE	脉冲溅射、易起弧靶材工艺
低频电源	Model:SG	双阴极溅射、等离子体 CVD
外置单元	Model:A2K/Model:MFU	工艺拓展、辅助电源控制

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