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ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用

产品名称: ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用
产品型号: CRYO-U8H
产品特点: ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用
日本 ULVAC 标准型低温高真空泵,是一款轻巧紧凑的标准型高真空泵,专为实验装置与小型生产装置设计,可实现 10⁻⁸Pa 以下的超高真空,支持多台并联运行,广泛应用于各类真空工艺场景。

ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用 的详细介绍
ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用
ULVAC 标准型低温高真空泵 实验室用
ULVAC 爱发科作为全球真空技术领域的品牌,旗下标准型低温高真空泵,是一款性能可靠、应用广泛的标准型低温高真空泵,凭借轻巧紧凑的设计与稳定的真空性能,成为实验室与小型生产场景的优选真空设备,为各类高真空工艺提供可靠的真空保障。
这款低温泵专为实验装置与小型生产装置设计,采用成熟的低温冷凝技术,可实现 10⁻⁸Pa 以下的超高真空度,满足半导体、材料科学、表面分析等领域对高真空环境的严苛要求。设备结构轻巧紧凑,便于安装与集成,适配空间有限的实验室设备与小型生产线,同时支持最多 3 台并联运行,可根据真空腔室规模灵活扩展抽气能力,提升系统的真空获取效率。
在抽气性能方面,该泵对不同气体均具备优异的抽气能力:氮气抽速达 1700 升 / 秒,氢气抽速 2700 升 / 秒,氩气抽速 1400 升 / 秒,水蒸气抽速可达 4000 升 / 秒,可高效去除真空腔室内的各类气体,包括高蒸汽压的水蒸气,有效减少腔室污染,提升成膜质量与实验结果的稳定性。设备的排气容量充足,氩气排气容量达 1.0×10⁸帕・升,氢气排气容量达 1.0×10⁶帕・升,可延长再生周期,减少维护频次,保障设备长时间连续运行。
设备采用电力循环冷却方式,冷却下降时间短,50Hz 工况下仅需 100 分钟、60Hz 工况下 90 分钟即可完成冷却,快速进入工作状态;进气口支持多种法兰规格,便于与不同真空腔室对接,适配多种设备接口需求。凭借稳定的真空性能、紧凑的结构设计与灵活的扩展能力,ULVAC 标准型低温高真空泵成为实验装置与小型生产装置的理想真空解决方案,助力提升真空工艺的效率与稳定性。

核心参数概要

表格
参数项规格值
氮气抽速(20℃)1700 升 / 秒
氢气抽速(20℃)2700 升 / 秒
氩气抽速(20℃)1400 升 / 秒
水蒸气抽速(20℃)4000 升 / 秒
极限真空度10⁻⁷Pa(可达 10⁻⁸Pa 以下)
氩气最大流量1.2×10³ 帕・升 / 秒
氩气排气容量1.0×10⁸帕・升
氢气排气容量1.0×10⁶帕・升
冷却下降时间(电力循环)100min(50Hz)/90min(60Hz)
进气口法兰UVG-200、6" ANSI、ICF-253
外形尺寸(单位:mm)法兰直径 φ300,泵体直径 φ203.2,高度 523.7
适用场景实验装置、小型生产装置、超高真空工艺


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