| 参数项 | 规格值 |
|---|---|
| 氮气抽速(20℃) | 1700 升 / 秒 |
| 氢气抽速(20℃) | 2700 升 / 秒 |
| 氩气抽速(20℃) | 1400 升 / 秒 |
| 水蒸气抽速(20℃) | 4000 升 / 秒 |
| 极限真空度 | 10⁻⁷Pa(可达 10⁻⁸Pa 以下) |
| 氩气最大流量 | 1.2×10³ 帕・升 / 秒 |
| 氩气排气容量 | 1.0×10⁸帕・升 |
| 氢气排气容量 | 1.0×10⁶帕・升 |
| 冷却下降时间(电力循环) | 100min(50Hz)/90min(60Hz) |
| 进气口法兰 | UVG-200、6" ANSI、ICF-253 |
| 外形尺寸(单位:mm) | 法兰直径 φ300,泵体直径 φ203.2,高度 523.7 |
| 适用场景 | 实验装置、小型生产装置、超高真空工艺 |
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