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日本 AD-TEC 双极直流电源

产品名称: 日本 AD-TEC 双极直流电源
产品型号: BP020A
产品特点: 日本 AD-TEC 双极直流电源
AD-TEC BP020A 双极直流电源,是专为等离子工艺设计的多功能 DC 电源,支持双极输出、直流脉冲等多种模式,采用 SiC 功率模块与密闭水冷结构,具备高速电弧遮断功能,广泛应用于半导体、真空镀膜等领域。

日本 AD-TEC 双极直流电源 的详细介绍
日本 AD-TEC 双极直流电源
日本 AD-TEC 双极直流电源
AD-TEC BP020A 双极直流电源,是日本 AD-TEC 针对等离子工艺设备开发的高性能 DC 电源,通过多模式输出、高耐电压规格与高速电弧控制,解决了传统直流电源在复杂工艺场景下的稳定性与适应性问题,为半导体晶圆处理、先进镀膜工艺等提供可靠的能量支持。
这款电源的核心优势在于其多模式输出能力,可在一台设备上实现可变 Duty、双极输出、直流输出及直流脉冲输出,满足不同工艺对波形与极性的需求;输出电压高达 1000V,采用 SiC 功率模块,提升了功率密度与效率,同时降低了设备损耗与散热压力。高速数位硬件结构赋予其高速电弧遮断功能,可在工艺过程中快速切断电弧,保护工件与设备,减少工艺缺陷;密闭型水冷冷却结构不受环境散热条件影响,可在宽范围环境中稳定运行,适配工业现场的严苛工况。
电源的额定功率为 20kW,额定电压 1000V(对应 20A),额定电流 40A(对应 500V),支持 20/40/60/80kHz 输出频率设置,点火模式电压可达 2000V;采用三相 AC380V 供电,冷却方式为密闭型水冷,需工业用水流量 7L/min(0.7MPa 以下);外观尺寸为 W482×H266×D800mm,重量约 70kg,采用标准机柜式设计,便于集成到工业设备中。
作为 AD-TEC 的核心直流电源产品,BP020A 以其高可靠性、多模式适配性与先进的电弧控制功能,广泛应用于半导体制造、LED 生产、光学镀膜、材料表面处理等领域,成为先进等离子工艺设备的理想供电方案。


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