日本 DIC 溶剂用脱气模组

日本 DIC  溶剂用脱气模组

日本 DIC  溶剂用脱气模组这款脱气模组是日本 DIC 针对半导体、LCD 制造中高腐蚀性药液脱气需求开发的高性能产品，以全氟树脂接液设计和 PTFE 中空纤维膜技术，解决了传统脱气设备不耐腐蚀、易堵塞的问题，为精密工艺流体提供可靠的低气泡解决方案。

核心脱气原理

• 接液部分全为氟树脂材质，耐酸、碱及有机溶剂腐蚀，适配光刻胶、溶剂等工艺流体。

• 液体在膜管内流动，不易被杂质堵塞，支持反向清洗，延长模组使用寿命。

• 真空侧抽气效率高，可实现高效脱气，满足半导体工艺对流体含气量的严苛要求。

技术优势

• 高耐腐蚀性：采用 PTFE 脱气膜与全氟树脂接液结构，可安全处理酸、碱及有机溶剂，适配半导体工艺中的各类药液。

• 高效脱气性能：通过内部灌流设计与真空抽气，可将液体中溶解气体浓度降至工艺要求级别，减少气泡对工艺的影响。

• 低压力损失：部分型号优化了流道设计，降低了流体通过模组的压力损失，减少系统能耗。

• 宽流量适配：系列覆盖 1~500mL/min 的流量范围，可根据不同工艺需求选择合适型号。

• 易维护性：内部灌流结构不易堵塞，支持反向清洗，便于在工业现场维护。

典型应用场景

• 半导体 / LCD 制造：光刻胶、溶剂、药液的脱气 / 脱泡，减少气泡对曝光、涂布工艺的影响。

• 喷墨打印：溶剂系喷墨墨水脱气，防止喷头堵塞和打印质量问题。

• 精密分析：腐蚀性流体的脱气处理，提高分析仪器的测量精度。

核心规格一览