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日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴)

产品名称: 日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴)
产品型号: KML-34
产品特点: 日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴)
一款专为狭小空间设计的迷你型超高真空直线导入装置,可从大气侧向真空腔体内传递 Z 轴直线运动,实现高精度样品位置调整,适配小型真空设备与半导体实验场景。

日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴) 的详细介绍
日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴)
日本 KITANO 迷你直线导入机(Z 轴)
这款导入机是日本 KITANO 针对小型真空设备与精密实验需求开发的迷你型配件,解决了传统导入机体积大、无法适配狭小腔体的痛点,以紧凑设计与微米级精度,为用户提供高性价比的超高真空运动传递方案。
设备采用贝罗兹(波纹管)驱动方式,SUS316 材质驱动轴直径 φ6mm,移动时轴不旋转,避免对真空腔内样品造成干扰。移动距离为 25mm,位置刻度精度达 0.01mm,可实现微米级的样品位置调整,适合高精度实验需求。许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,可用于超高真空领域;许容加热温度≤200℃,适配高温实验环境。
设备连接法兰尺寸为 ICF-34 FH,结构紧凑,可直接安装在小型真空腔体中。驱动部采用显微镜测量头设计,每旋转一周移动量为 0.5 毫米,操作精细,便于用户在大气侧进行微调。该设备广泛应用于小型真空实验样品的位置调整、半导体设备的微型腔体驱动,以及材料科学等领域的精密位移控制。

核心性能与优势

  • 超高真空兼容:低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。

  • 微米级精密控制:0.01mm 位置刻度精度,25mm 行程,可实现高精度样品位置调整。

  • 无旋转直线运动:贝罗兹驱动技术,移动时轴不旋转,避免对真空腔内样品造成干扰。

  • 紧凑迷你设计:体积小巧,适合狭小空间安装,适配小型真空设备。

  • 高温耐受能力:许容加热温度≤200℃,适配高温真空实验场景。

典型应用场景

  • 小型超高真空环境中实验样品的 Z 轴精密位置调整

  • 半导体微型真空腔体内部件的直线运动控制

  • 材料科学实验中样品的微米级位移与定位

  • 狭小空间内的真空镀膜、离子注入等工艺样品驱动


核心规格一览

表格
项目规格说明
移动距离25mm
位置刻度精度0.01mm
驱动轴径φ6mm
连接法兰尺寸ICF-34 FH
许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒
许容加热温度≤200℃
驱动方式贝罗兹方式(SUS316)
驱动部每转移动量0.5mm
运动特性移动时轴不旋转


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