高扭矩磁悬浮驱动:10kgf/cm² 高扭矩设计,适配大型真空设备的高负载旋转需求,无机械磨损。
超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。
360° 自由旋转:可实现 360° 自由旋转,通过限位器可任意角度定位,回转角标度 45°。
高负载适配设计:ICF-70 法兰接口,适配大型真空腔体,满足高负载场景需求。
耐腐蚀选项:提供针对腐蚀性气体的专用规格,适配特殊实验环境。
大型超高真空设备中样品或部件的 360° 旋转驱动
高负载真空腔体内部件的精密角度调整与定位
半导体设备的大型真空腔体旋转机构驱动
材料科学实验中高扭矩样品的旋转控制
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 驱动方式 | 磁铁(磁悬浮)方式 |
| 回转角度 | 360° 自由旋转,回转角标度 45°,可任意角度定位 |
| 回转扭矩 | 10 千克力 / 平方厘米 |
| 驱动轴径 | φ8mm |
| 连接法兰尺寸 | ICF-70 FH |
| 许容泄漏量 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 |
| 许容加热温度 | ≤200℃ |
| 外形尺寸 | 249mm(长)×φ61mm(直径) |
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