中空结构多功能设计:φ16mm 有效内径,可同时穿入样品支架、电极、热电偶等部件,实现多部件同步驱动。
超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。
双行程可选:提供 50mm 和 100mm 两种行程,位置刻度精度 0.1mm,满足不同实验需求。
紧凑迷你设计:重量轻、体积小,适合狭小空间安装,适配小型真空设备。
高温耐受能力:许容加热温度≤200℃,适配高温真空实验场景。
小型超高真空实验中样品支架、电极的 Z 轴直线驱动
材料科学实验中热电偶、探针的位置调整与位移控制
半导体微型真空腔体内部件的精密直线运动
狭小空间内的真空镀膜、离子注入等工艺部件驱动
| 项目 | KMUD-34(50Z) | KMUD-34(100Z) |
|---|---|---|
| 移动距离 | 50mm | 100mm |
| 位置刻度精度 | 0.1mm | 0.1mm |
| 驱动部每转移动量 | 0.5mm | 0.5mm |
| 有效内径 | φ16mm | φ16mm |
| 连接法兰尺寸 | 上部 ICF-34 英寸 / 下部 ICF-34 FH | 上部 ICF-34 英寸 / 下部 ICF-34 FH |
| 许容泄漏量 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 |
| 许容加热温度 | ≤200℃ | ≤200℃ |
| 重量 | 1.0 千克 | 1.2 千克 |
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