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日本 KITANO 迷你中空直线导入机

产品名称: 日本 KITANO 迷你中空直线导入机
产品型号: KMUD-34(50Z/100Z)
产品特点: 日本 KITANO 迷你中空直线导入机
一款专为狭小空间设计的中空结构超高真空直线导入装置,支持样品支架、电极等部件的 Z 轴直线运动,适配小型真空设备。

日本 KITANO 迷你中空直线导入机 的详细介绍
日本 KITANO 迷你中空直线导入机
日本 KITANO 迷你中空直线导入机
这款导入机是日本 KITANO 针对小型真空设备与狭小空间安装需求开发的设备,解决了传统导入机无法同时穿入样品支架、电极等部件的痛点,以中空紧凑设计与超高真空兼容性,为用户提供多功能直线运动方案。
设备采用中空结构设计,有效内径 φ16mm,可将样品支架、电极、热电偶等部件直接插入超高真空领域内并进行直线运动,实现多部件同步驱动。最大移动量可选 50mm(KMUD-34 50Z)和 100mm(KMUD-34 100Z)两种,位置决定刻度 0.1mm,驱动部每转移动量为 0.5mm,可实现精准的位置调整。许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,可用于超高真空领域;许容加热温度≤200℃,适配高温实验环境。
设备连接法兰尺寸为上部 ICF-34 英寸、下部 ICF-34 FH,整体尺寸紧凑,重量分别为 1.0 千克(50Z)和 1.2 千克(100Z),适合狭小空间安装。容器内部经过电解研磨处理,表面洁净度高,满足超高真空系统的洁净要求。该设备广泛应用于小型真空实验中样品支架、电极的 Z 轴驱动,适配材料科学、半导体等领域的实验场景。

核心性能与优势

  • 中空结构多功能设计:φ16mm 有效内径,可同时穿入样品支架、电极、热电偶等部件,实现多部件同步驱动。

  • 超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。

  • 双行程可选:提供 50mm 和 100mm 两种行程,位置刻度精度 0.1mm,满足不同实验需求。

  • 紧凑迷你设计:重量轻、体积小,适合狭小空间安装,适配小型真空设备。

  • 高温耐受能力:许容加热温度≤200℃,适配高温真空实验场景。

典型应用场景

  • 小型超高真空实验中样品支架、电极的 Z 轴直线驱动

  • 材料科学实验中热电偶、探针的位置调整与位移控制

  • 半导体微型真空腔体内部件的精密直线运动

  • 狭小空间内的真空镀膜、离子注入等工艺部件驱动


核心规格一览

表格
项目KMUD-34(50Z)KMUD-34(100Z)
移动距离50mm100mm
位置刻度精度0.1mm0.1mm
驱动部每转移动量0.5mm0.5mm
有效内径φ16mmφ16mm
连接法兰尺寸上部 ICF-34 英寸 / 下部 ICF-34 FH上部 ICF-34 英寸 / 下部 ICF-34 FH
许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒
许容加热温度≤200℃≤200℃
重量1.0 千克1.2 千克


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