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日本 KITANO 长行程磁耦合导入机

产品名称: 日本 KITANO 长行程磁耦合导入机
产品型号: KTL-500/750/1000
产品特点: 日本 KITANO 长行程磁耦合导入机
一款专为长距离传输设计的超高真空复合运动导入装置,支持直线 + 旋转双运动,适配真空腔体材料运输与样品定位。

日本 KITANO 长行程磁耦合导入机 的详细介绍
日本 KITANO 长行程磁耦合导入机
日本 KITANO 长行程磁耦合导入机
这款导入机是日本 KITANO 针对长距离真空传输需求开发的复合运动设备,解决了传统导入机行程短、功能单一的痛点,以磁耦合驱动技术与长行程设计,为用户提供高效的真空材料运输方案。
设备采用磁铁(磁耦合)驱动方式,可同时传递直线运动和旋转运动,实现复合运动控制。直线行程可选 500mm(KTL-500)、750mm(KTL-750)和 1000mm(KTL-1000)三种,回转角标度 10°,回转扭矩 9 千克力 / 平方厘米,直进力 6 千克力,可实现高精度的样品位置与角度调整。许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,可用于超高真空领域;许容加热温度≤200℃,适配高温实验环境。
设备连接法兰尺寸为 ICF-70(FH),驱动轴径 φ10mm,整体长度根据型号不同为 665mm~1165mm,适合长距离真空腔体安装。磁耦合驱动方式实现了与外部的真空密封,稳定运行,无机械磨损,寿命长。可选装止动机构(RS)和延长手柄(EH),实现任意距离和角度的位置定位,也提供针对厌氧性气体的专用规格,适配特殊实验环境。该设备广泛应用于真空腔体材料运输、样品长距离移动与定位,适配半导体、材料科学等领域的实验场景。

核心性能与优势

  • 复合运动驱动:支持直线 + 旋转双运动控制,同时实现样品的位移与角度调整。

  • 长行程传输能力:提供 500/750/1000mm 三种长行程,适配大型真空腔体材料运输需求。

  • 超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。

  • 磁耦合无磨损驱动:磁体方式驱动,无机械接触磨损,实现稳定运行。

  • 可扩展定位功能:可选装止动机构和延长手柄,实现任意距离和角度的位置定位。

典型应用场景

  • 大型真空腔体中样品或材料的长距离运输与传输

  • 半导体设备真空腔体内部件的直线 + 旋转复合运动控制

  • 材料科学实验中样品的长距离位移与角度调整

  • 真空镀膜、离子注入等工艺中的长距离样品台驱动


核心规格一览

表格
项目KTL-500KTL-750KTL-1000
直线行程500mm750mm1000mm
回转角标度10°10°10°
回转扭矩9 千克力 / 平方厘米9 千克力 / 平方厘米9 千克力 / 平方厘米
直进力6 千克力6 千克力6 千克力
驱动轴径φ10mmφ10mmφ10mm
连接法兰尺寸ICF-70(FH)ICF-70(FH)ICF-70(FH)
许容泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒
许容加热温度≤200℃≤200℃≤200℃


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