复合运动驱动:支持直线 + 旋转双运动控制,同时实现样品的位移与角度调整。
长行程传输能力:提供 500/750/1000mm 三种长行程,适配大型真空腔体材料运输需求。
超高真空兼容:电解研磨工艺 + 低泄漏设计,泄漏量≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒,适配超高真空环境。
磁耦合无磨损驱动:磁体方式驱动,无机械接触磨损,实现稳定运行。
可扩展定位功能:可选装止动机构和延长手柄,实现任意距离和角度的位置定位。
大型真空腔体中样品或材料的长距离运输与传输
半导体设备真空腔体内部件的直线 + 旋转复合运动控制
材料科学实验中样品的长距离位移与角度调整
真空镀膜、离子注入等工艺中的长距离样品台驱动
| 项目 | KTL-500 | KTL-750 | KTL-1000 |
|---|---|---|---|
| 直线行程 | 500mm | 750mm | 1000mm |
| 回转角标度 | 10° | 10° | 10° |
| 回转扭矩 | 9 千克力 / 平方厘米 | 9 千克力 / 平方厘米 | 9 千克力 / 平方厘米 |
| 直进力 | 6 千克力 | 6 千克力 | 6 千克力 |
| 驱动轴径 | φ10mm | φ10mm | φ10mm |
| 连接法兰尺寸 | ICF-70(FH) | ICF-70(FH) | ICF-70(FH) |
| 许容泄漏量 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 | ≤1.33×10⁻¹¹ Pa・m³/ 秒 |
| 许容加热温度 | ≤200℃ | ≤200℃ | ≤200℃ |
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