系统采用 6 室方式设计,包括试料室、试料处理室、试料预备排气室、中室、像观察室和相机室,实现样品从预处理到衍射记录的全流程真空环境控制。排气系统配置 IP/TSP 泵 3 台、TMP 泵 2 台和 SP 泵 2 台,可使试料室真空度达到 10⁻⁹Pa 台,满足超高真空实验需求。配备 BA 表与皮拉尼表,实现真空度的精准监测;回折像记录采用三段磁界镜头扩展方式,搭载电子线电磁轴合装置与超高感度特殊胶片用相机,确保衍射图像的清晰记录。本体尺寸宽 1850× 深 1050× 高 1650mm,重量约 800kg,结构稳固,适配实验室安装环境。
多室集成设计:6 室结构实现样品处理、衍射与记录的分区控制,避免交叉污染。
超高真空性能:10⁻⁹Pa 真空度,满足超高压脉冲电子束衍射实验的严苛环境要求。
专业衍射记录系统:三段磁界镜头扩展 + 电磁轴合装置,确保衍射图像的精准采集。
定制化适配设计:专为电子束衍射装置设计,与脉冲电子枪系统兼容。
高可靠性真空系统:多泵组排气配置,确保真空度稳定,支持长时间连续实验。
超高压脉冲电子束衍射实验的样品环境控制
材料表面结构的高真空电子衍射分析
科学研究机构的电子束物理实验平台
高校与研究所的材料表征与基础物理研究
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 腔室结构 | 6 室方式(试料室、处理室、预备排气室、中室、像观察室、相机室) |
| 排气系统 | IP/TSP 泵 ×3 台、TMP 泵 ×2 台、SP 泵 ×2 台 |
| 试料室真空度 | 10⁻⁹Pa 台 |
| 真空计 | BA 表、皮拉尼表 |
| 回折像记录 | 三段磁界镜头扩展方式,带电子线电磁轴合装置 |
| 本体尺寸 | 宽 1850× 深 1050× 高 1650mm |
| 重量 | 约 800kg |
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