日本 AVC 超高感度泄漏与气体测量装置

系统配备 300L / 秒磁浮式 TMP 与 50L / 秒 TMP 串联排气系统，可实现 5×10⁻⁹Pa 以下的超高真空环境；搭载超低气体释放四极杆质谱分析计 TULO-RGA101，最小检出分压灵敏度达 1×10⁻¹²Pa，质量分析范围 1~100amu（可选 200/300amu），全压测量范围覆盖 10⁻⁹Pa~10⁻¹Pa。支持 MEMS、红外线传感器等器件的超高灵敏度泄漏测试，同时可测量 FED、半导体器件运行时的排放气体趋势，为器件性能评估提供关键数据支持。

核心性能与优势

• 超高灵敏度泄漏检测：1×10⁻¹²Pa 分压灵敏度，可检测极微小泄漏，确保器件密封性能。

• 宽范围气体分析：1~100amu（可扩展至 300amu）质量分析，覆盖常见气体与有机挥发物。

• 超高真空环境保障：磁浮式 TMP 串联排气，实现 5×10⁻⁹Pa 以下真空度，消除背景干扰。

• 多功能集成设计：同时支持泄漏测试与放出气体分析，一站式完成器件性能评估。

• 精密器件适配：专为 MEMS、半导体器件设计，满足微纳电子器件的严苛测试需求。

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典型应用场景

• MEMS 器件、红外线传感器的超高灵敏度泄漏测试

• 半导体器件、FED 的运行放出气体趋势分析

• 精密电子部件的密封性能与材料放气评估

• 真空器件、传感器的长期稳定性与可靠性测试

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核心规格一览