产品资料
YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具
产品名称: YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具
产品型号:
产品特点: YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具采用多孔陶瓷材质制成的真空吸附平台，吸附均匀不损伤工件，可稳固夹持各类薄片、薄板，多用于半导体、光学、精密加工领域。
YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具 的详细介绍
YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具
YOSHIOKA SEIKO 多孔陶瓷真空吸盘夹具
本款 PORUS CHUCK 多孔陶瓷真空吸附吸盘由日本吉冈精工研发生产，依靠整体多孔结构形成全域均匀负压，区别于传统孔洞式吸盘，有效避免薄板、薄片工件出现翘曲、凹陷、变形等问题，适配超薄工件的定位固定需求。产品主体选用高致密多孔陶瓷为主材，同时可选碳化硅、不锈钢、树脂等接触面材质，兼顾耐磨、防静电、耐腐蚀等不同工况要求。
产品气孔孔径可选范围广，涵盖 2μm 至 230μm，可根据工件材质、厚度、透气度灵活调整吸附力，既能保证夹持牢固，又不会因负压过大压伤工件表面。基体支持铝合金、不锈钢、陶瓷等多种材质定制，可满足轻量化、高刚性、高温作业等使用需求。表面可做多种特殊涂层与镀层处理，提升防滑、防刮、防静电及耐污性能，延长使用寿命。
该系列包含标准型、精细钻孔型、碳化硅偏振夹具、HoVaC 加热型真空夹具等多款细分机型，功能覆盖常规吸附、防静电吸附、高温吸附等场景。其中加热款可实现吸附与加温同步作业，最高耐受温度可达 250℃，适配热加工、镀膜等工艺。整体结构简洁，通气顺畅，不易堵塞，日常清理与维护简单，可长期稳定运行在产线、实验室及精密加工工位。
核心性能与优势
全域均匀吸附，杜绝薄片工件变形、凹陷，夹持效果稳定
多接触面材质可选，适配防静电、耐腐蚀、高耐磨工况
气孔规格丰富，吸附力可按需调节，适配多种工件
基体材质多样，支持轻量化、高刚性、高温工况定制
可选加热功能，吸附加温一体，满足热加工工艺需求
不易堵塞，维护简单，适配长期连续生产作业
典型应用场景
半导体行业：晶圆、薄基板加工、检测工序固定
光学行业：光学镜片、偏振片、玻璃薄板夹持定位
精密加工：金属薄片、陶瓷薄板铣削、研磨、抛光固定
电子行业：各类超薄板材、柔性基材吸附定位
高温工艺：工件加热加工、镀膜制程真空夹持
核心规格一览
表格
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 系列型号 | PORUS CHUCK 全系列 |
| 接触面材质 | 氧化铝陶瓷、碳化硅、不锈钢、树脂等 |
| 气孔孔径 | 2μm~230μm（可定制） |
| 基体材质 | 铝合金、普通不锈钢、硬质不锈钢、陶瓷 |
| 表面处理 | 氟树脂涂层、无电解镍镀层、低温黑铬处理等 |
| 最高使用温度 | 常规款常温；加热款最高 250℃ |
| 特色机型 | 标准型、精细钻孔型、SiC 防静电款、HoVaC 加热款 |
| 适用工件 | 晶圆、玻璃、镜片、金属薄片、陶瓷薄板、柔性板材 |
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