日本 NEOARK 薄膜垂直磁性特性评估装置
‑设备类型:大型晶圆映射评估设备
‑输出功能:晶圆面磁性分布映射、磁滞回线采集存储
设备为大型一体化机柜式检测设备,面向晶圆级垂直磁性材料开展批量评估,可对 12 英寸以内薄片试样进行全域映射扫描,获取样品表面磁性分布数据。采用半导体激光作为探测光源,可根据被测薄膜材质调整光源波长,适配多类磁性堆叠膜、MTJ 膜的测试需求。设备可输出最高 20kOe 的外磁场条件,满足高矫顽力垂直磁性薄膜的磁滞回线测试。配套专业操作软件,自动完成扫描、数据采集、映射图谱生成,支持数据导出保存。整机结构稳固,能够降低环境振动对微弱磁光信号带来的干扰,保障大尺寸晶圆多点扫描检测的数据一致性,减少人为操作带来的测试偏差,适合产线前期研发以及晶圆样品批量评估工作。
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