日本 αTECH HeatBoy 管路在线加热器
配套适配:可后端对接 Alpha Trap 粉体除去捕集器
设备采用管道串联式结构,可直接接入真空排气工艺管路,对流经内部的流体实施直接加热,区别于传统夹套加热器依靠管壁间接导热的模式,热量可以直接作用于流体介质,热利用效率更高,能够有效抑制流体当中的组分在管壁降温凝结,减少各类沉积物附着堆积,降低管路堵塞风险。设备本体采用快接式接口,拆装作业简单,便于现场维护与拆卸检查。设备运行过程可实现清洁式加热,不会对工艺流体引入额外杂质,保障排气回路洁净度。该设备常和 Alpha Trap 粉体除去捕集器组成成套系统,加热器先抑制气相物质冷凝沉积,再由捕集器拦截固体粉体,协同保护后端真空泵以及各类工艺组件,减少管路清理频次,降低产线停机维护带来的损耗。设备适配半导体以及各类工艺真空排气工况,能够长期稳定运行,缓解低温凝华带来的管路污染问题。
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