日本 αTECH Hot N2 热氮气加热器
配套适配:可与 Heat Boy 在线加热器组合使用
设备由不锈钢加热罐体与独立数显控制主机两部分组成,主机可对加热工况进行调控,实现氮气介质快速升温。加热管路内部洁净无杂质析出,不会对高纯氮气造成污染,满足半导体工艺对于气体洁净度的使用标准。经过加热后的高温氮气通入工艺管路,提升管路局部环境温度,减少气相组分遇冷凝结,降低管壁沉积物生成概率。设备可以和 Heat Boy 管路在线加热器相互配合,形成完整管路温控防护方案,进一步改善真空排气管路的结垢附着问题。罐体部分采用金属耐压结构,适配工艺氮气供气压力,接口适配现场管路装配,整机结构紧凑,占用安装空间小。控制主机搭载数显面板,便于操作人员查看运行状态,调试操作简单,能够长时间稳定连续工作,减少管路清理维护频次,降低产线停机维护带来的各类损耗。
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