日本 TECHNOVISION QH 系列超纯水加热器

日本 TECHNOVISION QH 系列超纯水加热器日本 TECHNOVISION QH 系列超纯水加热器

设备基础规格

• 功率范围：1~36KW，共 16 种型号可选

• 接液材质：高纯石英、PTFE

• 结构特点：无积液结构

• 工作形式：在线瞬时加热

• 接口规格：Rc3/8、Rc1/2、Rc3/4 多规格可选

• 供电：单相 100/200V、三相 200V

• 外形尺寸：80×390mm ~192×910mm（依型号区分）

• 核心产品特性TECHNOVISION QH 系列超纯水加热器专为高洁净流体加热场景开发，核心加热区域采用高纯石英材质，接液部分搭配 PTFE 材料，不会对超纯水造成二次污染，保障流体洁净等级，满足严苛的半导体制程要求。设备采用无积液结构设计，流体在腔体内部顺畅流通，无残留死角，有效避免污染物沉积滋生，维持长期稳定的洁净加热效果。产品覆盖 1KW 至 36KW 多档位功率，16 款型号可根据不同流量与升温需求灵活选型，适配多样化产线工况。整机采用小型化坚固结构，，便于直接在线安装，可集成到现有生产线或配套设备内部，实现流体瞬时加热。通过对超纯水升温处理，能够强化晶圆等工件的清洗效果，有效提升产品良率。该加热器升温响应速度快，热交换效率高，可稳定维持设定温度，减少温度波动对清洗工艺的影响，适配连续化生产作业，设备维护简单，长时间运行稳定性强，降低产线停机维护成本，是半导体、精密电子清洗工艺中超纯水加热的优选设备。

• 适用场景主要应用于半导体晶圆清洗、精密电子元件清洗等超纯水工艺环节，适用于芯片制造、光伏、液晶面板等洁净产线，可集成在湿法清洗设备内部，完成超纯水在线升温，也可用于实验室高纯流体加热试验，满足各类对流体洁净度有高要求的瞬时加热工艺。