产品资料
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表
产品名称: 日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表
产品型号: GPW系列
产品特点: 日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表GPW系列该产品是皮拉尼压力表，可以测量从大气压到5×10 -2 Pa的很大范围。此外，该真空计的操作和显示已从常规控制器上删除，并且功能已缩小到必要的低限度，从而可以“降低成本"和“节省空间"。
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表 的详细介绍
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表GPW系列
该产品是皮拉尼压力表，可以测量从大气压到5×10 -2 Pa的很大范围。
此外，该真空计的操作和显示已从常规控制器上删除，并且功能已缩小到必要的低限度，从而可以“降低成本”和“节省空间”。
GPW系列的特点
- 广域测量：可以从大气压到5×10 -2 Pa进行广域测量。
- 省线：通过集成传感器和控制器实现省线，节省空间和省电
- 可见度更高：配备可确认异常的LED
- 一键式调节：一键式可调节大气压和零点
- 可维护性：易于更换探头
- 灯丝材料/铂（Pt）：灯丝材料使用具有高耐腐蚀性的铂。
- 测量值输出信号：压力为0〜10V对数输出标准设备
- 改善的抗冲击性：设计具有高抗冲击性
- 控制输出信号：可输出2个设定点（GPW-1）
- 串行通讯规格：可以进行RS-232C / RS-485通讯（仅GPW-2）
- 符合标准：符合CE标准
用途
- 用于各种制造设备（例如太阳能电池，FPD，半导体和电子零件）的低真空区域中的过程控制
- 用于各种工业设备（例如熔炉）的低真空区域中的过程控制
- 用于具有多个处理腔室的各种制造设备的低真空区域中的过程控制，例如在线型和单晶片型
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空压力表GPW系列
规范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可连接探针 | 之一 | ||
| 自适应探头 | SWP-16（NW-16） | ||
| 测量压力范围 | 5.0×10 -2〜1.0 ×10 5帕 | ||
| 测量精度* | 1×10 -1至1××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa，1×10 4 Pa至1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重复性 | 1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa：±2％ | ||
| 采样时间 | 50毫秒5次移动平均处理 | ||
| 测量值输出 | 输出电压DC 0〜10 V | ||
| 压力指示（对数输出）1.7 V〜8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新时间 | 50毫秒 | ||
| 控制输入信号 | 集电极开路输入，负逻辑 ADJ调整（零点调整，大气压调整） | -- | |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出 负逻辑[额定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 错误信号 设定点1、2 | -- | |
| 监控设定点 | 设定点1，2：0至10 V日志输出 | -- | |
| 串行通讯规格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED显示屏 | 电源/错误：电源和错误指示灯 | ||
| SET-1：设定值1 LED SET-2：设定值2 LED | -- | ||
| 灯丝材料 | 铂 | ||
| 工作温度极限 | 10-40°摄氏度 | ||
| 工作湿度范围 | 15至80％（但无凝结） | ||
| IP防护等级 | IP30（传感器单元） | ||
| 安装姿势 | 没有限制 | ||
| 电源电压 | DC 18 V〜30 V，2 W（开机时4.8 W） | ||
| I / O连接器 | D-sub15针（M2.6螺钉） | ||
| 大众 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（电源部分）W xD x H（毫米） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合标准 | CE认证 | ||
*大气压调整和零点调整后的精度。
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