日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规

日本shibaura芝浦机电皮拉尼真空计多离子规

在将常规方法的多种原理组合到一个外壳中的复杂真空计中，“单个手写笔需要*更换手写笔”，“手写笔很复杂且容易出现故障”和“手写笔”我经常听到客户的反馈，例如“昂贵”。
这种方法可以进行宽带测量，显着降低运行成本，并支持低环境负荷。

GMi系列的特点

• 广域测量可以测量
  从大气压到高真空区域（10 ⁵至5 x 10 ^-8 Pa）（当同时使用GPM和GAM时）
• 可以连接不同测量范围的放大镜
  通过采用多离子规，可以根据应用选择测针
• 准确的大气压测量可以
  轻松，准确地确认大气压（使用GAM时）
• 支持低环境负荷由于
  只能根据需要更换触控笔，因此可以降低运行成本。
• 
  配备可检查异常情况的LED，以提高可见度
• 
  易于更换可维护的手写笔
• 每种模式规格（组合模式）
  GMi + GPM（离子计+吡喃计）
  GMi + GPM + GAM（离子计+吡拉尼计+大气压传感器）
• 测量值输出信号
  压力为0至10V输出（对数输出）
• 控制输出信号可以进行
  3点设定值输出（GMi-1）
• 可以进行串行通讯规格
  RS232C / RS485通讯（GMi-2）
• 符合标准
  CE标准对应

用

• 用于各种制造设备（例如太阳能电池，FPD，半导体和电子零件）的高真空区域中的过程控制
• 通过串联型和单晶圆型等多个处理室，确认各种制造设备的高真空区域的极限压力
• 高真空/超高真空设备的压力测量

规范

每种模式规格

GMi-1 / GMi-2可以从三种使用类型中选择：多离子表单模，带吡拉尼表的组合模式以及带吡拉尼表和大气压传感器的三重组合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2 独立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM 组合模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 组合模式
测量压力范围	5×10 -8〜1 ×10 1帕	5×10 -8〜1 ×10 4帕	5×10 -8〜1 ×10 5帕
测量精度	5×10 -8至1×10 1 Pa±15％	5×10 -8〜1×10 3帕：±15％ 1×10 3〜3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3〜1.0×10 4帕：没有精度保证	5×10 -8〜1×10 3帕：±15％ 1×10 3〜3.0×10 3帕：±30％ 3.0×10 3 〜1.0×10 4帕：没有精度保证 1.0×10 4〜1.0× 10 5 Pa：±3％FS  （3 x 10 3 Pa，参考温度25°C）
重复精度	1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
接线图（示例）

外形尺寸

单位：mm 
*规格或建议零售价如有变更，恕不另行通知。

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