半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
半导体超纯水高耐久除氧器脱气装置
| 型号 | 处理水量 | 隔膜材质 | 出口 DO* | 外形 W×D×H | 自重 |
|---|---|---|---|---|---|
| 8905 | 0.5 m³ h⁻¹ | PMP† | ≤ 5 ppb | 360×300×650 mm | 28 kg |
| 8910 | 1.0 m³ h⁻¹ | PMP | ≤ 5 ppb | 420×350×750 mm | 38 kg |
| 8930 | 3.0 m³ h⁻¹ | PVDF‡ | ≤ 3 ppb | 600×500×1100 mm | 75 kg |
| 8950 | 5.0 m³ h⁻¹ | PVDF | ≤ 3 ppb | 700×600×1300 mm | 110 kg |
| *DO = 溶解氧;†PMP = 聚甲基戊烯高透氧中空纤维;‡PVDF = 耐氧化、寿命更长。 |
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