设备最高温度可达 1000℃,采用超耐热合金加热板与钛制底盘,配合隔热与热辐射控制技术,实现稳定的高温加热;带盖式设计可减少热量散失,适配气体置换加热等特殊工艺。可定制电动升降台、真空吸盘夹具,应对基板翘曲问题;RP 系列还支持双面加热与石英旋转炉配置,满足材料耐热性评估、无机材料热处理等需求。控制器配备过温监控、紧急停止、漏电检测等多重安全功能,保障高温工艺操作安全。
超高温控温能力:最高温度可达 1000℃,覆盖中高温材料热处理需求。
带盖式加热设计:减少热量散失,适配气体置换加热等特殊工艺。
多工艺定制支持:可定制电动升降台、真空吸盘夹具,应对基板翘曲问题。
高耐用材质设计:采用超耐热合金加热板与钛制底盘,耐高温耐腐蚀。
多重安全防护:控制器配备过温监控、紧急停止、漏电检测等安全功能。
大型基板、玻璃的超高温加热与热处理
晶圆加热、材料表面研究与耐热性评估
无机材料热处理、烘烤等工艺处理
气体置换加热等特殊工艺需求(RP 系列)
工业材料高温性能测试与老化实验
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 型号系列 | PA2560/PA4060/PA8020/RP10020 |
| 最高温度 | 250℃/400℃/800℃/1000℃(不同型号可选) |
| 加热板尺寸 | 600×600mm / 220×220mm(不同型号可选) |
| 加热板材质 | 铝合金 / 超耐热合金 |
| 电源电压 | AC200V |
| 可选功能 | 电动升降台、真空吸盘夹具、电动输送面、遮光板、双面加热(RP 系列) |
| 温度控制器 | PCC118 系列专用控制器,支持触摸屏操作 |
| 安全功能 | 过温监控、紧急停止、漏电检测、负载断线保护 |
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