超高温性能:RP80 系列最高 850℃、RP100 系列最高 1000℃,采用超耐热合金平台,适配高温工艺需求;
双面加热设计:上下双向加热平台结构,实现均匀、高速的高温加热效果;
多场景适配:支持石英玻璃炉管、惰性气体氛围加热,可用于材料气体置换处理;
安全与智能控制:搭配 PCC118-W-TP 触摸屏式温度控制器,具备过温监控、紧急停止、漏电检测等多重安全功能;
便捷操作设计:抽屉式平台结构,便于样品放置与取出,适配晶圆、材料样品等多种处理对象;
多种规格可选:提供 80×80mm 与 220×220mm 两种平台尺寸,电源支持 AC100V/200V,适配不同工况。
超高温覆盖:最高支持 1000℃工作温度,适配高温工艺;
双面均匀加热:上下双向加热平台,实现高速、均匀升温;
多氛围适配:支持惰性气体与石英炉管加热,满足特殊工艺需求;
安全智能控制:触摸屏控制器集成多重安全保护功能;
便捷操作设计:抽屉式平台结构,提升样品处理效率。
晶圆高温处理与烘烤
材料高温热处理与评估
惰性气体氛围下的材料加热
石英炉管内气体置换加热工艺
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 品牌 | SAFACTORY(日本) |
| 型号 | RP 系列(RP80/RP100) |
| 最高工作温度 | 850℃~1000℃(依系列不同) |
| 平台材质 | 超耐热合金 |
| 平台尺寸 | 80×80mm / 220×220mm |
| 电源电压 | AC100V / AC200V(依型号不同) |
| 适配控制器 | PCC100G、PCC118-W-TP(触摸屏式) |
| 可选配件 | 石英玻璃炉管、惰性气体氛围组件 |
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