日本 SAFACTORY UV 照射加热装置

• 双工艺集成设计：同时支持紫外线照射与热板加热，可实现光热协同处理，适配光固化、光热改性等复合工艺；

• 超高温加热性能：热板最高工作温度可达 1000℃，采用超耐热合金材质，具备优异的耐高温与热变形控制能力；

• 惰性气体环境适配：可搭配石英玻璃炉管与惰性气体组件，实现气体置换氛围下的加热处理；

• 安全与智能控制：搭配 PCC118-W-TP 触摸屏式温度控制器，具备过温监控、紧急停止、漏电检测等多重安全功能；

• 便捷操作设计：抽屉式热板结构，便于样品放置与取出，带盖设计可减少热量流失，提升工艺稳定性；

• 定制化适配能力：支持石英玻璃、惰性气体氛围等选项，可根据工艺需求配置设备功能。

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核心性能与优势

• 光热协同工艺：UV 照射与高温加热一体化，适配复合工艺需求；

• 超高温加热能力：最高 1000℃热板温度，满足高温工艺；

• 惰性气体环境兼容：支持气体置换氛围下的加热处理；

• 安全智能控制：触摸屏控制器集成多重安全保护功能；

• 便捷操作设计：抽屉式结构 + 带盖设计，提升使用效率与工艺稳定性。

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典型应用场景

• 半导体晶圆光热协同处理

• 材料光固化与热固化复合工艺

• 惰性气体氛围下的光热改性实验

• 高温环境下的光辅助热处理工艺

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核心规格一览