晶圆用镀膜装置
A-52硅胶晶圆镀层实验装置套装
这是用于2～12英寸硅晶圆的镀膜装置套件。通过使用专用的治具，可以处理半导体等问题。可以进行MEMS的精密镀膜。
製品情報
A-52硅胶晶圆镀层实验装置套装
晶圆用镀膜装置
A-52硅胶晶圆镀层实验装置套装
这是用于2～12英寸硅晶圆的镀膜装置套件。通过使用专用的治具，可以处理半导体等问题。可以进行MEMS的精密镀膜。
特长
水槽在进行常时过滤的同时，从水槽底部产生缓和的对流，使其溢出的结构。
有两种类型：一种是单面溢流型，另一种是可以进行高速搅拌的双面溢流型。直接搅拌时使用桨式搅拌。
也可作为生产设备使用。
已在国内外取得多项。
基板素材
不仅仅是硅片 SiC、玻璃、GaAs、InP 也可用于其他材料的基板。
关于特注制作
可根据标准装置，定制适合客户样品的形状夹具和双面镀敷用夹具。
另外， 阳极氧化・阳极氧化用治具 还有其他设备的制作实绩。
治具的种类也密闭型、非密闭型治具、水平式等。 联系我们表单 欢迎随时咨询我们。
套装明细
A-52-ST□AWJYPPA硅芯片用镀层实验装置套装WJ型（YPP电源用）
| 製品番号 | 製品名 | 数量 |
A-52-ST□-P01A | 硅胶晶圆用水槽（亚克力制双层底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用阴极墨盒（标准型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片用阳极支架（带阳极背起毛） （*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 桨叶搅拌装置 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你滤芯20APFA型（2〜6英寸用） 迷你滤芯40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 空气泵M202（AC100V）（2〜4英寸）。 | 1 |
| A-52-P18 | 空气过滤器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圆水槽用加热器WJ2型（2英寸） 300W PFA包覆加热器（AC100V） 300W石英小型嵌入式加热器WJB型（5-6英寸）。 500W石英加热器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 温度传感器、加热器用固定装置 |
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