日本 Nanotec NANOCOAT 系列 DLC 成膜设备

日本 Nanotec NANOCOAT 系列 DLC 成膜设备

日本 Nanotec NANOCOAT 系列 DLC 成膜设备

设备基础规格

• 机型覆盖 NANOCOAT-500、800、1000、4000 多种规格

• 真空槽尺寸按机型区分，可选 500×500×600mm、φ800×650mm 等

• 基板夹具为公自转式，可依据工件外形定制

• 搭载 DLC 离子源电离蒸镀系统

• 极限到达压力 6.7E-4Pa 以下

• 排气系统配置涡轮分子泵加旋片泵

• 基板偏置最大 3000V 500mA

• 支持配方存储全自动运行

• 供电为三相 200V，功率随机型 5/10/20/30kVA

• 冷却用水 20~40L/min，压力 3kgf/cm²

• 气源压缩空气压力 6kgf/cm² 以上

核心产品特性 

设备依靠真空环境下专用离子源分解苯原料，在等离子环境下沉积生成类金刚石碳膜。依靠多离子源布局调控等离子体分布，配合基板公转自转机构，面对异形、凹凸结构的精密零件，依旧可以形成厚度均匀、附着力稳定的镀膜层。制备的 DLC 涂层显微维氏硬度可达 2000 至 4000，摩擦系数低于 0.2，兼具优秀的表面平滑度、抗粘附能力以及脱模性能，有效降低工件运行磨损，减少物料粘连。整机采用配方化全自动控制，工艺参数可预先保存调用，降低人为操作带来的工艺波动。机型选择丰富，从小批量试样机型到大产能量产机型齐全，基板加热模块支持选配，适配不同基材的镀膜工艺需求。真空系统响应稳定，抽速快，能够稳定维持镀膜所需真空环境，膜层一致性强，后期维护便捷，适配长期连续生产作业，是精密零部件表面改性处理的成熟镀膜设备。

适用场景 

适用于精密模具、医疗配件、半导体零件、汽车精密零部件、轴承、刀具、塑胶成型镶件等工件的 DLC 涂层加工，在需要减摩耐磨、防粘脱模、提升表面硬度的加工领域广泛应用，满足试样研发、中小批量以及规模化量产等不同生产需求。