Filgen Os Plasma Coater 锇等离子镀膜机
Filgen Os Plasma Coater 锇等离子镀膜机
是日本 Filgen 推出的 SEM 样品前处理设备,采用直流等离子 CVD 技术,解决了传统溅射、金蒸镀的颗粒性、热损伤、环绕性差等痛点,为扫描电镜样品提供高质量的导电薄膜制备方案。
该设备采用直流辉光放电负辉光区等离子体 CVD 法,在真空腔室内引入少量气体,通过辉光放电瞬间形成等离子体,在样品表面沉积非晶质的锇导电薄膜。与传统溅射、金蒸镀相比,该技术实现了四大核心突破:无颗粒性,非晶质薄膜无颗粒,SEM 成像清晰,还原样品表面细节;无热损伤,常温制膜,无加热步骤,避免样品热变形、开裂;高环绕性,气体渗透式镀膜,覆盖凹凸、孔洞结构,无充电阴影;高安全性与重现性,全自动操作,任何人都可稳定制备一致的薄膜,杜绝人为误差。
广泛应用于生物医学、材料科学、高分子化学、环境科学等领域,为 SEM 扫描电镜观察提供高质量的样品前处理,尤其适用于生物样品、热敏性样品、多孔结构样品的导电镀膜,是电镜实验室的核心配套设备。
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