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锇等离子镀膜机

产品名称: 锇等离子镀膜机
产品型号: OPC60A
产品特点: Filgen OPC60A 锇等离子镀膜机是日本进口电镜制样专用设备,可实现无颗粒、无热损伤的锇膜沉积,解决 SEM 样品荷电、污染问题,操作安全简便,是电镜实验室的理想制样设备。

锇等离子镀膜机 的详细介绍

Filgen OPC60A 锇等离子镀膜机

Filgen OPC60A 锇等离子镀膜机

是日本 Filgen 推出的专业电镜制样用等离子 CVD 镀膜设备,专为扫描电镜、透射电镜等电子显微镜样品的锇膜沉积打造,以无颗粒、无热损伤、无电子束损伤的镀膜效果,解决传统金属镀膜的颗粒、荷电、热损伤等问题,为电镜观测提供清晰、高分辨率的样品制备解决方案。
从产品细节来看,该设备采用一体化台式机身设计,操作面板布局清晰直观,真空表、电流表、控制按钮等细节做工扎实,操作界面简单易懂,用户仅需设定参数后按下启动键,即可完成全自动镀膜流程,无需复杂培训即可上手。设备核心采用垂直电极结构的等离子反应腔,通过直流等离子放电的负辉光区域实现镀膜,可在样品表面形成分子级的非晶态金属镀膜,完整复刻样品表面微观结构,不损伤样品一次结构。设备细节设计兼顾安全性与维护便捷性,采用多重安全防护措施,从根源上避免 OsO₄泄漏风险,同时锇容器可拆卸,内置安瓿切割器,更换与维护简单高效。
产品性能方面,具备优异的镀膜性能,可实现无颗粒的非晶态锇膜沉积,镀膜过程在室温下进行,无热损伤,锇的熔点高达 2700℃,耐受电子束轰击,无电子束损伤问题。镀膜从真空状态启动,无样品污染,分散稳定性优异,可有效防止样品再凝集,提升电镜观测清晰度。设备支持超薄膜模式与常规模式,最小镀膜厚度可达 0.1nm,常规模式 1nm,适配从纳米级到常规的多样化镀膜需求,同时支持等离子聚合膜、亲水化处理等可选功能,拓展应用场景。
用材方面,设备反应腔采用高硼硅玻璃材质,透明可视,便于观察样品状态,接触部件采用高耐腐蚀、高洁净材质,不会对样品造成污染,满足科研级使用要求。机身主体采用高强度耐用材质,结构稳定,长期使用故障率低,适配实验室的复杂使用环境。
核心参数方面,该设备型号为 OPC60A,电源为 100VAC 单相,外形尺寸 450×390×340mm,整机重量约 20kg,反应腔为玻璃材质,样品尺寸适配多种电镜样品台,支持 10mm、15mm、36mm 等多种样品台,镀膜厚度可控,最小 0.1nm,采用全自动控制,配备真空表、电磁阀等部件,运行稳定可靠。
用途方面,该设备主要用于电镜样品的锇导电膜沉积,广泛应用于扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜等电镜制样,可有效防止样品荷电、污染,提升观测清晰度,同时可用于 FIB 样品防护膜、样品表面亲水化处理等场景,是科研院所、高校电镜实验室、企业研发部门的核心制样设备。
包装方面,设备采用专业防震包装,内置缓冲防护材料,确保运输过程中设备不受损伤,包装内附带设备说明书、操作手册、配件清单等资料,方便用户开箱验收与安装使用。
使用说明方面,设备操作简单,用户只需按照说明书步骤完成样品放置、参数设定,即可启动全自动镀膜作业,日常使用后需及时清洁设备腔体,避免样品残留,设备附带详细的操作指南与维护说明,指导用户正确使用与保养。
售后服务方面,设备提供原厂质保服务,整机保修 12 个月,提供专业的技术支持与安装指导,同时提供长期的配件供应与维修服务,确保设备长期稳定运行,为用户的电镜制样实验提供全面保障。


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