产品资料
电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵
产品名称: 电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵
产品型号: LEH30MS
产品特点: 电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵无油、单级、水封、紧凑型 —— 实验室 & 分析仪器 front-end 标准一、产品定位水封式无油：使用去离子水作密封液，零油雾，适合激光、电镜、半导体前道电机直联：无皮带，免维护，体积比传统水环泵小 40%紧凑型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在实验台下方单级水封：极限真空 33 mbar（abs），饱和水蒸气 20 mbar，适
电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵 的详细介绍
电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵
电机直联紧凑型水封式自冷却真空泵
无油、单级、水封、紧凑型 —— 实验室 & 分析仪器 front-end 标准
一、产品定位
- 水封式无油：使用去离子水作密封液，零油雾，适合激光、电镜、半导体前道
- 电机直联：无皮带，免维护，体积比传统水环泵小 40%
- 紧凑型：376×185×280 mm，23 kg，可直接放在实验台下方
- 单级水封：极限真空 33 mbar（abs），饱和水蒸气 20 mbar，适合含水/有机溶剂样
二、核心技术参数（LEH30MS）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 原理 | 单级水封式（liquid ring）+ 电机直联 |
| 极限真空 | 33 mbar（abs） @ 20 °C 水 |
| 抽速 | 50 Hz：28 m³/h (0.47 m³/min) |
| 水封流量 | 0.9 L/min（去离子水，电导 <5 µS/cm） |
| 噪音 | ≤ 55 dB(A) @ 50 Hz（1 m） |
| 振动 | < 2.5 mm/s（无需减振垫） |
| 介质 | 空气、N₂、Ar、水蒸气、有机溶剂蒸气 |
| 材质 | 泵体 SUS304，叶轮 316L，轴封 PTFE |
| 进水压力 | 0.1-0.3 MPa（自来水或去离子水） |
| 排水 | 重力自流，无泵 |
| 进气口 | DN25（宝塔 Φ25 mm，可转 NW25） |
| 电源 | 三相 200 V 50/60 Hz，0.9 kW |
| 尺寸/重量 | 376×185×280 mm，23 kg |
三、功能亮点
- 33 mbar 无油真空：比油旋片更洁净，适合电镜、激光腔排气
- 水封自冷却：连续运行 24h 泵体 <40℃，无需额外冷却水
- 可处理水/有机蒸气：水封液稀释冷凝液，无乳化问题
- 电机直联：无皮带，免维护；转速 2800 rpm，振动 <2.5 mm/s
- 紧凑型 23 kg：实验台下方即可安装，节省空间
- 一键排水：停机后打开排水阀，自动排空泵腔，防止水垢
四、典型应用系统图
激光器腔体┌─── 腔体 ───┐│ │进气← LEH30MS ← 水汽冷凝器（可选）│ │└─── 回大气 ──┘- 泵进口接激光腔，出口接冷凝器回收溶剂
- 水封液 0.9 L/min 循环使用，每周更换一次
五、实测数据（实验室验证）
- 电镜腔体 50 L，室温 25 ℃
- LEH30MS 50 Hz 运行：
- 2 min 达到 50 mbar
- 5 min 极限 33 mbar
- 连续 8 h 水封温升 <8 ℃，无乳化
六、选型与配件
| 件号 | 说明 |
|---|---|
| LEH30MS-200 | 三相 200 V 50/60 Hz 标准型 |
| LEH30MS-DI | 去离子水套件（水箱+流量计） |
| LEH30MS-COND | 溶剂冷凝器（回收乙醇、丙酮） |
| LEH30MS-NW25 | NW25 快接法兰套件 |
七、维护与可靠性
- 水封液：每周更换，防止水垢（电导 <5 µS/cm）
- 进气滤网：每月清洗一次
- 叶轮：无磨损，寿命 >20 000 h
- 无油设计，无需换油或处理废油
八、结论
KASHIYAMA LEH30MS 以「33 mbar 无油真空 + 水封自冷却 + 23 kg 紧凑 + 55 dB 静音」四合一设计，让电镜、激光、半导体前道获得「洁净、紧凑、免维护」的真空源，是实验室水封真空泵的「台式标准机」
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