神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵

Name: 神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵SSH100/SSH150/SSH200
Brand: 其他品牌
Price: 1111 CNY
Availability: InStock

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产品名称: 神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵

产品型号: SSH100/SSH150/SSH200

产品特点: 神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵，采用直流无刷电机驱动，支持双模式运行，无油干式设计，适配半导体制造、一般产业及研发场景，兼具高抽速、低能耗与环保特性。

神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵 的详细介绍

神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵

神港精机 SSH 系列干式螺杆真空泵，是专为工业级真空应用打造的高性能无油干式螺杆泵，采用直流无刷电机驱动，支持双模式运行，无频率限制，广泛应用于半导体制造、电子部件生产、一般工业及科研开发等场景，为各类工艺提供稳定、洁净的真空环境。

设备的核心优势在于高效节能与灵活运行，采用直流无刷电机，通过转速控制降低启动电流，运行中可切换 “POWER MODE" 与 “ECONOMY MODE" 两种模式，适配不同工况需求；同时解决了 50/60Hz 地区的能力差异，实现无频率限制运行。相比传统感应电机，设备在年运行 9000 小时的工况下，可实现约 64000 日元的节电效果，同时减少约 1400kg 的 CO₂排放，兼具经济性与环保性。

设备性能表现优异，提供 SSH100、SSH150、SSH200 三种型号，抽气速度覆盖 1030~3000L/min（POWER MODE 下最高可达 3000L/min），到达压力低至 0.6Pa，可满足不同工艺对真空度的需求；设备采用无油干式设计，不会对工艺过程造成油污染，适配半导体蒸镀、溅射、蚀刻等对洁净度要求高的工艺场景，也可用于气体置换、灭菌、蒸发器等一般工业与研发场景。

设备内置泵控制器，配备多种保护功能，支持外部控制，可实现自动化运行；整机结构紧凑，带脚轮与支撑脚，移动与固定便捷，适配车间与实验室使用；可选配冷却水与 N₂气接口，满足不同工艺的冷却与密封需求。设备采用可靠的螺杆结构设计，运行稳定可靠，是半导体制造、工业生产与科研开发中真空工艺的理想配套设备，助力企业实现高效、洁净、节能的真空作业。

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