SD 系列干式真空泵
SD 系列干式真空泵
是工业真空领域的实用设备,依托竖型螺杆结构与全新加热系统,提升了进程耐性,搭配特殊材料带来的高耐食性与丰富温度区间,可适配多场景工艺需求。设备在 20000L/min 级别实现了 35% 的 footprint 削减,达成小型化 footprint 设计,同时实现进一步低电力化,降低运行成本。
该设备符合 SEMI/CE/NRTL 各规格的高信赖设计,安全性有保障,全新外观设计兼顾美观与实用性,底部带滚轮方便移动部署。设备提供多型号选择,覆盖从 10000L/min 到 100000L/min 的排气速度需求,可满足从小型实验室到大型生产线的全场景应用,适配半导体、热处理、真空镀膜等多领域工艺需求。设备采用干式设计,无油污染,维护简单,运行稳定,可长时间连续工作,是工业真空系统的常用设备。
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