产品资料
日本 SAFACTORY 真空环境热板
产品名称: 日本 SAFACTORY 真空环境热板
产品型号: PH220 系列
产品特点: 日本 SAFACTORY 真空环境热板专为真空镀膜、等离子处理等场景设计，可在 100Pa~10⁻⁵Pa 的宽真空环境下稳定工作，最高温度可达 600℃，是高性能、高精度的真空专用加热解决方案。
日本 SAFACTORY 真空环境热板 的详细介绍
日本 SAFACTORY 真空环境热板日本 SAFACTORY 真空环境热板本系列热板是 SAFACTORY 针对真空工艺研发的专用加热设备，核心优势在于优异的温度均匀性与控制精度，可满足镀膜、等离子处理等工艺的严苛温控需求。
宽真空兼容：覆盖低真空（100Pa）至高真空（10⁻⁵Pa）环境，适配不同工艺场景；
高耐温性能：最高工作温度达 600℃，满足高温真空工艺需求；
定制化能力：热板尺寸、材质（铝合金 / 铜合金 / 氧化铝）可按需定制，适配各类设备接口；
真空适配组件：提供 VF、VG、KF 等标准真空法兰的电缆穿线组件，电缆长度也可定制，安装便捷；
配套温控系统：可搭配 PCC100G、PCC110、PCC107Co 系列温控器，实现精准控温。
核心性能与优势
宽真空范围兼容：适配低真空至高真空环境，满足多场景工艺需求；
高精度温控：温度分布均匀性与控制精度优异，保障工艺稳定性；
高定制化设计：热板尺寸、材质、接口形式均可定制，适配不同设备；
低放气特性：氧化铝等材质型号放气量极低，适配高洁净度真空工艺；
配套方案：含专用电缆穿线组件与配套温控器，安装使用便捷。
典型应用场景
真空镀膜工艺温度控制
等离子处理工艺温度加印
高真空环境下样品加热
低放气要求的洁净真空工艺
核心规格一览
表格
| 项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 品牌 | SAFACTORY（日本） |
| 型号 | PH220 系列（含 PH220S-100、PH220S-6030、PH220D-2010W、PH220D-200 等） |
| 最高工作温度 | 200℃~600℃（依型号不同） |
| 真空度兼容 | 100Pa~10⁻⁵Pa（依型号不同） |
| 热板材质 | 铝合金 / 铜合金 / 氧化铝（依型号不同） |
| 热板尺寸 | 100×100mm~φ220mm（依型号不同） |
| 电源电压 | AC100V/200V（依型号不同） |
| 可选配件 | VF/VG/KF 真空法兰电缆穿线组件、PCC 系列温控器 |
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